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本发明提供一种器件检查装置，在接触板较重的情况下，即使器件或电极的厚度不同时，也能够适当地控制多个电极和多个检查用端子各自的接触压力。在器件检查装置(1)中，当电动线性致动器(7)使接触板(4)下降时，接触板(4)沿着线性引导件(8)下降，...
该专利属于日本电产三协株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产三协株式会社授权不得商用。

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