蒸镀掩模的制造方法技术

一种蒸镀掩模(100)的制造方法，其是具备树脂层(10)、及形成于树脂层(10)上的磁性金属层(20)的蒸镀掩模(100)的制造方法，包含如下步骤：(A)准备基板的步骤；(B)将包含树脂材料的溶液或树脂材料的前驱物溶液赋予至基板的表面后，进行热处理，而形成树脂层的步骤；(C)在树脂层(10)上形成磁性金属层(20)的步骤，该磁性金属层(20)具有包含存在金属膜的实心部(20a

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模的制造方法
本专利技术是关于一种蒸镀掩模的制造方法，尤其是关于一种具有树脂层与金属层积层而形成的结构的蒸镀掩模的制造方法。
技术介绍
近年来，作为下一代显示器，有机电致发光(EL，ElectroLuminescence)显示装置正吸引人们重视。目前，在量产的有机EL显示装置，有机EL层的形成主要使用真空蒸镀法而进行。作为蒸镀掩模，一般为金属制的掩模(金属掩模)。然而，随着有机EL显示装置的高精细化发展，使用金属掩模精度良好地形成蒸镀图案正逐渐变得困难。其原因在于，利用目前的金属加工技术，难以在成为金属掩模的金属板(例如厚度100μm左右)高精度地形成与较短的像素间距(例如10～20μm左右)对应的小的开口部。因此，作为用于形成精细度较高的蒸镀图案的蒸镀掩模，提出有具有树脂层与金属层积层而成的结构的蒸镀掩模(以下，也称为“积层型掩模”)。例如专利文献1中揭示有树脂薄膜与作为金属磁体的保持部件积层而形成的积层型掩模。在树脂薄膜形成有与所期望的蒸镀图案对应的多个开口部。在保持部件形成有尺寸较树脂薄膜的开口部大的狭缝。树脂薄膜的开口部配置于狭缝内。因此，在使用专利文献1的积层型掩模的情况下，蒸镀图案是对应于树脂薄膜的多个开口部而形成。即便是小的开口部，也可以高精度地形成于较一般的金属掩模用的金属板薄的树脂薄膜。在树脂薄膜形成如上所述的较小的开口部时，优选地使用激光烧蚀法。在专利文献1中记载有对载置于支持材(玻璃基板等)的树脂薄膜照射激光而形成所期望的尺寸的开口部的方法。图26的(a)～(d)分别为用于对专利文献1中揭示的现有技术的蒸镀掩模的制造方法进行说明的示意步骤剖面图。在专利文献1中，首先，如图26的(a)所示，在树脂薄膜81上形成具有开口部(狭缝)85的金属层82，而获得积层膜80。接着，如图26的(b)所示，以对积层膜80在规定的面内方向赋予张力的状态将积层膜80安装至框架87。然后，将积层膜80如图26的(c)所示载置至玻璃基板90上。此时，使树脂薄膜81中的与金属层82为相反的一侧的面经由乙醇等液体88密接于玻璃基板90。然后，如图26的(d)所示，对树脂薄膜81中通过金属层82的狭缝85而露出的部分照射激光L，因此在树脂薄膜81形成多个开口部89。以此方式制造积层型的蒸镀掩模900。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2014-20号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题然而，图26中举例的现有技术的制造方法中，有难以高精度地对树脂薄膜进行加工、或者在树脂薄膜的开口部的周缘产生毛边的问题。若在树脂薄膜产生毛边，则难以使已完成的蒸镀掩模密接于成为蒸镀对象的基板(以下，也称为”蒸镀对象基板”)，而会在蒸镀掩模与蒸镀对象基板之间产生间隙。因此，若使用现有技术的蒸镀掩模，则有可能无法获得与蒸镀掩模的开口部对应的高精细的蒸镀图案。详细情况将于下文进行叙述。此外，虽然尝试于树脂薄膜的加工后通过擦除等将毛边去除，但未提出可以抑制毛边的产生本身的方法。本专利技术是鉴于上述问题点完成的，其目的在于提供一种可以优选地用于形成高精细的蒸镀图案的积层型的蒸镀掩模、及其制造方法。另外，本专利技术的另一目的在于提供一种使用如上所述的蒸镀掩模的有机半导体元件的制造方法。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的一实施方式的蒸镀掩模的制造方法是具备树脂层、及形成于所述树脂层上的磁性金属层的蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模的制造方法包含如下步骤：(A)准备基板的步骤；(B)将包含树脂材料的溶液或树脂材料的前驱物溶液赋予至所述基板的表面后，进行热处理，而形成树脂层的步骤；(C)在所述树脂层上形成磁性金属层的步骤，该磁性金属层具有包含存在金属膜的实心部与不存在金属膜的非实心部的掩模部、及以包围所述掩模部的方式配置的周边部；(D)在所述树脂层中的位于所述掩模部的所述非实心部的区域形成多个开口部的步骤；及(E)在所述步骤(D)之后，将所述树脂层自所述基板剥离的步骤。在某一实施方式中，在所述步骤(C)与所述步骤(E)之间进一步包含将框架固定于所述磁性金属层的所述周边部的步骤(F)。在某一实施方式中，所述步骤(F)在所述步骤(D)之后进行。在某一实施方式中，在所述步骤(F)中，以不对所述磁性金属层及所述树脂层从外部对层面内方向赋予张力的状态，将所述框架固定于所述磁性金属层。在某一实施方式中，所述步骤(E)之后进一步包含将框架固定于所述磁性金属层的所述周边部的步骤(F)。在某一实施方式中，在所述步骤(C)中，所述掩模部的所述实心部包含离散地配置的多个岛状部。有益效果根据本专利技术的实施方式，提供一种可以优选地用于形成高精细的蒸镀图案的积层型的蒸镀掩模的制造方法。附图说明图1的(a)是示意地表示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模100的俯视图，图1的(b)是沿着图1的(a)中的A-A线的剖面图。图2的(a)是示意地表示本专利技术的第一实施方式的另一蒸镀掩模200的俯视图，图2的(b)是沿着图2的(a)中的A-A线的剖面图。图3的(a)是示意地表示本专利技术的第一实施方式的另一蒸镀掩模300的俯视图，图3的(b)是沿着图3的(a)中的A-A线的剖面图。图4的(a)是示意地表示本专利技术的第一实施方式的另一蒸镀掩模400的俯视图，图4的(b)是沿着图4的(a)中的A-A线的剖面图。图5的(a)及(b)分别为表示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的变形例的俯视图。图6是示意地表示本专利技术的第一实施方式的另一蒸镀掩模101的俯视图。图7是示意地表示本专利技术的第一实施方式的另一蒸镀掩模201的俯视图。图8是示意地表示本专利技术的第一实施方式的另一蒸镀掩模301的俯视图。图9是示意地表示本专利技术的第一实施方式的另一蒸镀掩模401的俯视图。图10的(a)及(b)分别为例示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的制造方法的步骤俯视图及步骤剖面图。图11的(a)及(b)分别为例示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的制造方法的步骤俯视图及步骤剖面图。图12的(a)及(b)分别为例示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的制造方法的步骤俯视图及步骤剖面图。图13的(a)及(b)分别为例示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的制造方法的步骤俯视图及步骤剖面图。图14的(a)及(b)分别为例示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的制造方法的步骤俯视图及步骤剖面图。图15的(a)及(b)分别为例示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的制造方法的步骤俯视图及步骤剖面图。图16的(a)及(b)分别为例示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的制造方法的步骤俯视图及步骤剖面图。图17的(a)至(f)分别为例示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的其他制造方法的步骤剖面图。图18的(a)至(e)分别为例示本专利技术的第一实施方式的蒸镀掩模的其他制造本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模的制造方法，其是具备树脂层、及形成于所述树脂层上的磁性金属层的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包含如下步骤：/n(A)准备基板的步骤；/n(B)将包含树脂材料的溶液或树脂材料的前驱物溶液赋予至所述基板的表面后，进行热处理，而形成树脂层的步骤；/n(C)在所述树脂层上形成磁性金属层的步骤，该磁性金属层具有包含存在金属膜的实心部与不存在金属膜的非实心部的掩模部、及以包围所述掩模部的方式配置的周边部；/n(D)在所述树脂层中的位于所述掩模部的所述非实心部的区域形成多个开口部的步骤；及/n(E)在所述步骤(D)之后，将所述树脂层自所述基板剥离的步骤。/n

【技术特征摘要】
20160210 JP 2016-0240111.一种蒸镀掩模的制造方法，其是具备树脂层、及形成于所述树脂层上的磁性金属层的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包含如下步骤：
(A)准备基板的步骤；
(B)将包含树脂材料的溶液或树脂材料的前驱物溶液赋予至所述基板的表面后，进行热处理，而形成树脂层的步骤；
(C)在所述树脂层上形成磁性金属层的步骤，该磁性金属层具有包含存在金属膜的实心部与不存在金属膜的非实心部的掩模部、及以包围所述掩模部的方式配置的周边部；
(D)在所述树脂层中的位于所述掩模部的所述非实心部的区域形成多个开口部的步骤；及
(E)在所述步骤(D)之后，将所述树脂层自所述基板剥离的步骤。


2.如权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，
在...

【专利技术属性】
技术研发人员：西田光志，矢野耕三，岸本克彥，崎尾進，竹井日出夫，
申请(专利权)人：鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71