分段式掩膜片、掩膜版、掩膜版组件及其制作方法技术

本发明专利技术提供了一种分段式掩膜片，其为网格状结构，包括外部的框体、内部的孔体、连接部、卡接槽口、突起；框体内部通过多组连接部间隔，间隔位置为内部的孔体；至少独立地设置有一组卡接槽口、一组突起设置在框体的任一两个侧面；卡接槽口和突起结构相匹配。同时，还公开了掩膜版、掩膜版组件及其制作方法，该组件用于OLED器件蒸镀用通过改进和设计可拆卸安装时粘结剂的组份和份数，能够可拆卸地将有损坏的分段式掩膜片进行可选择地、有目的的直接更换，重组后，再将其进行二次或多次使用，降低了修复成本，提升了高精密金属掩膜版的使用良率以及工作效率。

【技术实现步骤摘要】
分段式掩膜片、掩膜版、掩膜版组件及其制作方法
本专利技术涉及显示
，具体涉及一种分段式掩膜片、掩膜版、掩膜版组件及其制作方法。
技术介绍
目前，各类显示屏已经被广泛应用于各种便携式电子器件，比如移动通信设备、平板电脑、显示器、电子书、导航设备或者车载设备等众多领域。其中，有机发光二极管（organiclightemittingdiode，简称OLED）因其具有低功耗、高色彩饱和度、广视角、薄厚度以及能实现柔性化设计等优异性逐渐被应用到显示屏。OLED显示屏生产过程中需要通过与OLED发光显示单元精度相适应的掩膜版组件将有机层蒸镀到基板上，形成OLED发光显示单元，具体是将一张张掩膜版先定位而后固定在掩膜版框架上，在完成所有的张网步骤后，开始蒸镀。最终在基板上形成对应的蒸镀膜层。
技术实现思路
针对上述现有的一体式支撑用金属掩膜版在高精密金属掩膜版张网后在遇到损坏或者某个区域有混色时，现有需要将整张掩膜版撕掉，成本高、浪费大等的问题，本专利技术将现有的一体式支撑用金属掩膜版做成分段式的，可分段张网和修复，用于针对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分段式掩膜片，其特征在于，所述分段式掩膜片为网格状结构，包括外部的框体、内部的孔体、连接部、卡接槽口、突起；所述框体内部通过多组连接部间隔，间隔位置为内部的孔体；至少独立地设置有一组卡接槽口、一组突起设置在框体的任意两个侧面；所述卡接槽口和突起结构相匹配。/n

【技术特征摘要】
1.一种分段式掩膜片，其特征在于，所述分段式掩膜片为网格状结构，包括外部的框体、内部的孔体、连接部、卡接槽口、突起；所述框体内部通过多组连接部间隔，间隔位置为内部的孔体；至少独立地设置有一组卡接槽口、一组突起设置在框体的任意两个侧面；所述卡接槽口和突起结构相匹配。


2.根据权利要求1所述分段式掩膜片，其特征在于：所述分段式掩膜片厚度在30-200μm，采用金属蚀刻方式制作，表面设置厚度1-15μm的纳米涂层；所述孔体的形状设置为包括圆形、方形、长方形、椭圆形、菱形、但不限于这些中任一种或至少两组的组合。


3.根据权利要求2所述分段式掩膜片，其特征在于：所述纳米涂层，是通过静电喷涂方法将粉末熔融后喷涂在分段式掩膜片表面形成的，所述粉末为直径为1~200nm的Si3N4、直径为1~200nm的MoSi2、质量百分比（2~3）：（0.1~0.5）的直径为1~200nmSi3N4和直径为1~200nmMoSi2中任一种。


4.一种支撑用掩膜版，其特征在于：是采用多组权利要求1-3中任一项分段式掩膜片，通过相邻分段式掩膜片对应的卡接槽口与突起配合的可拆卸紧密排布组成的结构。


5.根据权利要求4所述的支撑用掩膜版，其特征在于：所述支撑用掩膜版的表面设置为平面或连续的曲面。


6.一种OLED器件蒸镀用掩膜版组件，其特征在于，包括掩膜版框架、遮挡条、支撑用掩膜版、高精密掩膜版；
所述掩膜版框架内侧面背离中心方向，间隔地设置有多组开口槽，开口槽的端面设置为两层台阶状的连接槽；
所述遮挡条，...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，杨柯，
申请(专利权)人：南京高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32