下载分段式掩膜片、掩膜版、掩膜版组件及其制作方法的技术资料

文档序号:26496231

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本发明提供了一种分段式掩膜片,其为网格状结构,包括外部的框体、内部的孔体、连接部、卡接槽口、突起;框体内部通过多组连接部间隔,间隔位置为内部的孔体;至少独立地设置有一组卡接槽口、一组突起设置在框体的任一两个侧面;卡接槽口和突起结构相匹配。同...
该专利属于南京高光半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京高光半导体材料有限公司授权不得商用。

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