【技术实现步骤摘要】
一种张网装置
本技术涉及蒸镀设备领域，尤其涉及一种张网装置。
技术介绍
现有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)制程中，需要采用高精细金属掩膜板遮挡无需蒸镀的区域，保证像素点镀膜的精准度。由于在蒸镀腔体内，需要使用高精细金属掩膜板与基板贴合蒸镀，故金属掩膜板的平坦度将会直接影响镀膜区域与基板完整性。而为了保证金属掩膜板的平坦度，除了控制物料自身品质外，最主要的是减少其制作过程抓夹物料机构的偏差。目前大多数张网机台使用外接设备或量测仪器对抓夹机构进行平坦度调试，一旦调试完成后，制作张网过程将无法实时检测或调整其夹爪机构的平坦度。如图1设备结构所示，当左、右夹爪机构位于Loading端时，使用传感器量测其左右高低差为0.01mm，而如图2所示，当夹爪机构移动至frame上方进行张网时，再次使用sensor量测其左右平坦度，发现偏差已增大至0.03mm，由此看出夹爪机构移动或使用过程会受到滑轨与施力的影响，产生左右高低差。
技术实现思路
为此，需要提供一种张网装置，解...
【技术保护点】
1.一种张网装置，包括张网机台、抓夹滑轨和抓夹机构，抓夹滑轨相对地设置张网机台的左右两侧，抓夹机构活动设置在抓夹滑轨中，抓夹机构用于张网，其特征在于，还包括高度调整单元、传感器和量测平面，抓夹机构通过高度调整单元与抓夹滑轨连接，高度调整单元用于调整抓夹机构的高度，所述传感器设置在所述抓夹机构上，量测平面相对地设置张网机台的左右两侧且平行于水平面，传感器用于获取传感器与量测平面的距离。/n
【技术特征摘要】
1.一种张网装置，包括张网机台、抓夹滑轨和抓夹机构，抓夹滑轨相对地设置张网机台的左右两侧，抓夹机构活动设置在抓夹滑轨中，抓夹机构用于张网，其特征在于，还包括高度调整单元、传感器和量测平面，抓夹机构通过高度调整单元与抓夹滑轨连接，高度调整单元用于调整抓夹机构的高度，所述传感器设置在所述抓夹机构上，量测平面相对地设置张网机台的左右两侧且平行于水平面，传感器用于获取传感器与量测平面的距离。
2.根据权利要求1所述的一种张网装置，其特征在于，抓夹机构相同的一侧通过连接杆连接。
3.根据权利要求2所述的一种张网装置，其特征在于，所述连接杆为2个，2个所述连接杆分别连接抓夹机构相同的一侧。
4.根据权利要求2或3所述的一种张网装置，其特征在于，还包括校正平面...
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