一种激光剥蚀方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种激光剥蚀方法，采用非线性激光对样品剥蚀。本发明专利技术还公开一种采用该激光剥蚀方法的激光剥蚀装置，包括用于发射非线性激光的激光发射组件，供所述非线性激光穿过的光路系统以及利用非线性激光经对样品进行剥蚀的剥蚀池内。本发明专利技术使用非线性激光器为激光源，利用非线性激光的自聚焦，在焦点处达到极大的功率密度，从而使得激光能量集中于样品中特定深度。本发明专利技术以非线性激光剥蚀为基础，最大限度的减少了寄主矿物剥蚀对流体包裹体分析的影响，实现流体包裹体成分的高精度分析。

【技术实现步骤摘要】
一种激光剥蚀方法及其装置
本专利技术涉及激光剥蚀分析领域，具体涉及一种激光剥蚀方法及其装置。
技术介绍
激光剥蚀-电感耦合等离子质谱分析方法(LA-ICP-MS)能够实现微米尺度的元素-同位素的测量，以及实现地质年龄的高精度原位测定，从而成为当今固体地球科学研究中最常用也是最前沿的分析技术之一。对于激光剥蚀-电感耦合等离子质谱分析方法，其原理是通过激光发生器产生高能量激光作用于地质样品表面，使地质样品分解成微细粒颗粒物，然后用载气(如氦气)将剥蚀颗粒物以气溶胶形式运移至电感耦合等离子质谱仪，通过高温等离子体将气溶胶电离成离子后利用质谱进行元素-同位素的定量分析。激光剥蚀系统作为该分析方法的取样部分，对样品的剥蚀方式及效率直接影响分析结果。目前应用于地球科学研究的所有激光剥蚀系统，只能对地质样品开展由表及里的逐步剥蚀，无法对某些特殊研究对象，如矿物中的流体包裹体，实现无寄主矿物干扰取样，极大地制约了地质流体特别是成矿流体的高精度研究。由于激光剥蚀系统只能开展由表及里的逐步剥蚀，导致流体包裹体信号被寄主矿物严重干扰，特别是成分复杂的矿物中的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光剥蚀方法，其特征在于，采用非线性激光对样品剥蚀，且所述非线性激光焦点集中于样品的内部，并在样品的内部进行定点聚焦和爆破。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光剥蚀方法，其特征在于，采用非线性激光对样品剥蚀，且所述非线性激光焦点集中于样品的内部，并在样品的内部进行定点聚焦和爆破。


2.根据权利要求1所述的激光剥蚀方法，其特征在于，
根据不同的样品调整激光光路，进行剥蚀时的非线性激光脉冲宽度<1ns，波长<1100nm，频率为1～50000Hz，功率为0～15W，对样品的剥蚀深度为1～20μm，剥蚀时间5～40s。


3.一种采用权利要求1或2的激光剥蚀方法的激光剥蚀装置，其特征在于，包括，
用于发射非线性激光的激光发射组件，所述激光发射组件包括非线性激光器和调整所述非线性激光器能量的能量调整器，所述能量调整器设于所述非线性激光器的一侧；
供所述非线性激光穿过的光路系统；以及
剥蚀池，所述非线性激光经所述光路系统射入至所述剥蚀池内。


4.根据权利要求3所述的激光剥蚀装置，其特征在于，所述光路系统包括密封壳体，所述密封壳体上分别开设有供所述非线性激光射入的激光入口和供所述非线性激光射出的激光出口，且所述密封壳体内填充有保护气体。


5.根据权利要求4所述的激光剥蚀装置，其特征在于，所述光路系统还包括设于所述密封壳体...

【专利技术属性】
技术研发人员：高剑峰，
申请(专利权)人：中国科学院地球化学研究所，
类型：发明
国别省市：贵州;52