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一种激光剥蚀方法及其装置制造方法及图纸
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文档序号:26576319
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本发明公开一种激光剥蚀方法,采用非线性激光对样品剥蚀。本发明还公开一种采用该激光剥蚀方法的激光剥蚀装置,包括用于发射非线性激光的激光发射组件,供所述非线性激光穿过的光路系统以及利用非线性激光经对样品进行剥蚀的剥蚀池内。本发明使用非线性激光器...
该专利属于中国科学院地球化学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院地球化学研究所授权不得商用。
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