一种可自动清理的石墨烯半导体制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种可自动清理的石墨烯半导体制备装置，包括底座，所述底座顶部的一侧设置有收集仓，所述收集仓顶部的中间位置处设置有伺服电机A，所述伺服电机A的输出端延伸至收集仓的内部并设置有扇叶，所述底座底部远离收集仓的一侧设置有收集槽，所述收集槽内部的一侧设置有连接气管；本发明专利技术装置通过石墨烯操作台主体、转动杆、清洁刷、伸缩杆、弹簧和收纳仓的相互配合，可对石墨烯操作台主体表面较为明显的颗粒物或杂质进行清理，通过石墨烯操作台主体产生的倾斜度使石墨烯操作台主体表面的杂质可快速的进入收集槽的内部存储，当不需要清扫时还可对清洁刷进行收纳，从而提高操作人员工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种可自动清理的石墨烯半导体制备装置
本专利技术涉及石墨烯半导体制备
，具体为一种可自动清理的石墨烯半导体制备装置。
技术介绍
石墨烯是一种由单层碳原子构成的二维平面材料，它在力学、热学、电学、光学等方面都具有优异的性能，尤其在半导体应用领域，因为石墨烯在室温下的电子迁移率为15000cm2/(V·s)，电子迁移率是硅的10倍，且电阻率也非常低，只有10-6Ω·cm，同时单层石墨烯的透光率高达97.7％，因此在半导体制造领域中具有广泛的应用前景；现有装置存在以下问题：1、现有的装置大多都是直接将颗粒物或杂质清扫在地面上进行存储的，这样会导致地面的不整洁，同时还需操作人员再次进行清扫；2、现有的装置大多都需要在借助别的清洁工具对其装置缝隙进行清理的，使操作人员在清洁时较为繁琐；3、现有的装置操作人员在清洁时，还需手动的进行多组的清洁，虽清洁的较为干净整洁，但较为消耗操作人员工作时间。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可自动清理的石墨烯半导体制备装置，以解决上述
技术介绍
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【技术保护点】
1.一种可自动清理的石墨烯半导体制备装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶部的一侧设置有收集仓（8），所述收集仓（8）顶部的中间位置处设置有伺服电机A（9），所述伺服电机A（9）的输出端延伸至收集仓（8）的内部并设置有扇叶（10），所述底座（1）底部远离收集仓（8）的一侧设置有收集槽（3），所述收集槽（3）内部的一侧设置有连接气管（4），且连接气管（4）延伸至收集槽（3）的外部并与收集仓（8）相互连通，所述底座（1）顶部靠近收集槽（3）一侧的顶部和底部对称设置有安装块（2），两组所述安装块（2）相互靠近的一侧设置有转动杆（5），所述转动杆（5）的外侧套设有石墨烯操作台主体（14），...

【技术特征摘要】
1.一种可自动清理的石墨烯半导体制备装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶部的一侧设置有收集仓（8），所述收集仓（8）顶部的中间位置处设置有伺服电机A（9），所述伺服电机A（9）的输出端延伸至收集仓（8）的内部并设置有扇叶（10），所述底座（1）底部远离收集仓（8）的一侧设置有收集槽（3），所述收集槽（3）内部的一侧设置有连接气管（4），且连接气管（4）延伸至收集槽（3）的外部并与收集仓（8）相互连通，所述底座（1）顶部靠近收集槽（3）一侧的顶部和底部对称设置有安装块（2），两组所述安装块（2）相互靠近的一侧设置有转动杆（5），所述转动杆（5）的外侧套设有石墨烯操作台主体（14），所述石墨烯操作台主体（14）远离转动杆（5）的一侧设置有安装仓（13），所述安装仓（13）的顶部设置有伺服电机B（11），所述伺服电机B（11）的输出端设置有螺纹杆（6），且螺纹杆（6）延伸至安装仓（13）的外部与一组安装块（2）靠近安装仓（13）的一侧相互连接，所述螺纹杆（6）的外侧套设有内螺纹套块（12），所述内螺纹套块（12）的顶部设置有软管（7），且软管（7）与收集仓（8）的内部相互连通，所述安装仓（13）的顶部设置有收纳仓（18），所述收纳仓（18）内部远离石墨烯操作台主体（14）一侧的顶部和底部对称设置有伸缩杆（17），两组所述伸缩杆（17）远离收纳仓（18）的一侧共同设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：武建军，张培林，柴利春，张作文，王志辉，
申请(专利权)人：大同新成新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山西;14