【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种提供图像数据的方法和装置，从该数据中，可以生成目标物体的图像。该图像数据提供了有关目标物体的结构的高分辨率信息，并允许所得的图像具有高分辨率。特别的，但非唯一的，本专利技术还涉及一种用于提供分辨率受到波长限制的图像的方法和装置，在提供上述图像时，无须对用于探测目标的入射辐射进行相对于该目标的高精度定位。
技术介绍
已知许多种用于得出与目标物体(或样品)有关的空间信息的成像技术。在传统的透射成像中，用平面波照明(10)照射目标物体。如图1A所示，由该物体散射的辐射通过透镜(12)重新发生干涉，以形成图像。在极短波长(X射线或电子束)成像的情况下，该技术存在许多已知困难，这些困难与透镜引入的像差和不稳定性有关，它们限制了所得图像的分辨率和可判读性。通常，可实现的分辨率是理论上的波长限制的许多倍。这种成像技术的另一个例子是传统的扫描透射成像，其中，用透镜将穿过目标物体的辐射汇聚成一点。在目标物体的后侧设置一个或多个检测器，以检测经过散射的辐射。已知各种类型的检测器测率，如环形检测器，象限检测器和/或开路检测器(off-access detector...
【技术保护点】
一种提供用于构建目标物体区域的高分辨率图像的图像数据的方法，包括： 从辐射源发出至所述目标物体的入射辐射； 通过至少一个检测器来检测由所述目标物体散射的辐射强度； 提供对应所述检测的强度的所述图像数据，而无须对所述入射辐射或目标物体后的光圈进行高分辨率的定位。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：JM罗登伯格，HML福尔克纳，
申请(专利权)人：谢菲尔德大学，
类型：发明
国别省市：GB[英国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。