一种真空腔内基板的夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空腔内基板的夹持装置，包括底板，所述底板上从左向右依次固定连接有竖直杆、U型架和真空转动电机，且其中竖直杆与U型架通过滑轨连接；所述真空转动电机的输出端通过联轴器连接有丝杆，且丝杆远离真空转动电机的一端与竖直杆转动连接，所述丝杆外侧壁螺纹套接有水平运动的两个丝杆螺母，两个所述丝杆螺母的两端均通过固定杆连接有同一个连接块，所述连接块上开设有与滑轨匹配的滑槽，且滑槽用于连接块水平滑动。本实用新型专利技术采用连接块水平运动驱动支撑板的上下运动，进而通过V型夹爪实现对基板的夹持效果，该方式相比现有技术可节省夹爪直接采用推杆等驱动时存在的上下预留长度，节省真空腔室的上下空间。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔内基板的夹持装置
本技术涉及夹持装置
，尤其涉及一种真空腔内基板的夹持装置。
技术介绍
目前采用沉积薄膜生产TFT-LCD各类产品时，需要使用到真空腔室，真空腔室内设置有上下夹持装置，其对放置在真空腔室内的基板进行上下夹持稳定的效果，目前，上下夹持装置结构采用的是电动推杆等，其使用前存在上下空间不能充分利用的问题，因为电动推杆初始状态下存在预留长度，则该预留长度的上下空间无法充分利用。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中真空腔室内设置的上下夹持装置存在空间无法利用的问题，而提出的一种真空腔内基板的夹持装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种真空腔内基板的夹持装置，包括底板，所述底板上从左向右依次固定连接有竖直杆、U型架和真空转动电机，且其中竖直杆与U型架通过滑轨连接；所述真空转动电机的输出端通过联轴器连接有丝杆，且丝杆远离真空转动电机的一端与竖直杆转动连接，所述丝杆外侧壁螺纹套接有水平运动的两个丝杆螺母，两个所述丝杆螺母的两端均通过固定杆连接有同一个连接块，所述连接块上开本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔内基板的夹持装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)上从左向右依次固定连接有竖直杆(2)、U型架(3)和真空转动电机(4)，且其中竖直杆(2)与U型架(3)通过滑轨(5)连接；/n所述真空转动电机(4)的输出端通过联轴器(7)连接有丝杆(6)，且丝杆(6)远离真空转动电机(4)的一端与竖直杆(2)转动连接，所述丝杆(6)外侧壁螺纹套接有水平运动的两个丝杆螺母(8)，两个所述丝杆螺母(8)的两端均通过固定杆(9)连接有同一个连接块(10)，所述连接块(10)上开设有与滑轨(5)匹配的滑槽(16)，且滑槽(16)用于连接块(10)水平滑动；/n所述连接块(10)通过带动装置连...

【技术特征摘要】
1.一种真空腔内基板的夹持装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)上从左向右依次固定连接有竖直杆(2)、U型架(3)和真空转动电机(4)，且其中竖直杆(2)与U型架(3)通过滑轨(5)连接；
所述真空转动电机(4)的输出端通过联轴器(7)连接有丝杆(6)，且丝杆(6)远离真空转动电机(4)的一端与竖直杆(2)转动连接，所述丝杆(6)外侧壁螺纹套接有水平运动的两个丝杆螺母(8)，两个所述丝杆螺母(8)的两端均通过固定杆(9)连接有同一个连接块(10)，所述连接块(10)上开设有与滑轨(5)匹配的滑槽(16)，且滑槽(16)用于连接块(10)水平滑动；
所述连接块(10)通过带动装置连接有竖直运动的支撑板(12)，所述支撑板(12)上固定连接有用于夹持的V型夹爪(13)，所述支撑板(12)的四角处均通过导杆(14)与底板(1)连接。


2.根据权利要求1所述的一种真空腔内基板的夹持装置，其特征在于，所述底板(1)的四角处均螺纹连接有用于底板(1)稳定的固定螺丝...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊亮，
申请(专利权)人：苏州航宇九天动力技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32