【技术实现步骤摘要】
一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具
本技术涉及光学薄膜加工技术等领域，具体的说，是一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具。
技术介绍
电子束蒸发镀膜机的薄膜厚度分布均匀性是衡量设备性能的最关键指标之一。旋转球面夹具是传统光学镀膜设备上普遍采用的一种配置。但薄膜在旋转球面夹具上的膜厚分布并非是天生均匀的。对于确定的镀膜工艺，膜厚分布不仅与机器本身的空间结构有关，比如蒸发源与旋转球面夹具的几何位置关系等，而且与旋转球面夹具的具体几何形状有关。机器的空间结构在出厂前已经由设备制造商确定而无法更改。因此，对于大部分用户来讲，更改夹具形状成为最经济实用快捷的方法之一。通常改善膜厚分布均匀性的方法是改变球面夹具的曲率半径，但这种方式对均匀性的改善效果很有限，必须进一步借助专门的膜厚修正系统才能是均匀性达到生产需求。而膜厚修正系统会遮挡蒸发的膜料，从而降低镀膜的效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具，应用于镀膜机上，在进行镀膜时不依靠专门的膜厚修正系统，仅通过将现有的旋转球面夹具改成本旋转非球面夹具，...
【技术保护点】
1.一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具，其特征在于：所述非球面夹具的内腔结构包括平面状的顶面及顶面边缘向外呈弧状延伸形成的坡面。/n
【技术特征摘要】
1.一种热蒸发镀膜用旋转非球面夹具，其特征在于：所述非球面夹具的内腔结构包括平面状的顶面及顶面边缘向外呈弧状延伸形成的坡面。
2.根据权利要求1所述的一种热蒸发镀膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲍刚华，卢成，陆斌，王伟，王健平，
申请(专利权)人：成都国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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