一种实现自动翻面的行星样品台制造技术

本发明专利技术涉及真空镀膜技术领域，公开了一种实现自动翻面的行星样品台，其技术方案要点是包括支架，支架内设置有加热区域，加热区域包括中心转轴和若干个加热部，中心转轴两端分别开设有U型槽，将基片放置在加热部上，通过加热盘对基片进行加热，并且通过第一升降组件可以调整加热区域与加热盘之间的距离，进而控制加热温度，通过第二升降组件带动旋转轴的上下移动，使得U型块与U型槽相嵌或脱离，在旋转组件的带动下，使得中心转轴的转动，无需将电机设置在加热区域，即可实现加热部的周向移动，并且通过翻转机构，可以实现加热区域的翻转，使得对基片的加热更加的均匀，又避免了对于基片双面镀膜情况下，需要停止镀膜的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种实现自动翻面的行星样品台
本专利技术涉及真空镀膜
，更具体的说是涉及一种实现自动翻面的行星样品台。
技术介绍
镀膜设备中，薄膜均匀性取决于蒸发源的蒸发特性、基片的几何形状、基片与蒸发源的相对位置等因素。常采用基片和蒸发源相对运动的原理，基片旋转是最实用化的获得均匀薄膜的方法，但对于基片双面镀膜，如果采用先停止镀膜，然后更换所镀的表面的方法，会改变蒸发源的温度，并且需要人工对基片进行翻面，翻面后可能会改变与原先的固定位置，导致再次镀膜时，基片镀膜的时的状态被改变，因此很难保证基片两个表面膜层的均匀性和对称性。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种实现自动翻面的行星样品台，用于克服现有技术中的上述缺陷。为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种实现自动翻面的行星样品台，包括支架，所述支架内设置有加热区域，所述加热区域包括中心转轴和若干个加热部，所述中心转轴两端分别开设有U型槽，所述支架顶部开设有通孔，所述通孔内固定连接有外升降管，所述外升降管朝向所述加热区域的一端固定连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种实现自动翻面的行星样品台，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)内设置有加热区域(11)，所述加热区域(11)包括中心转轴(12)和若干个加热部(13)，所述中心转轴(12)两端分别开设有U型槽(121)，所述支架(1)顶部开设有通孔(14)，所述通孔(14)内固定连接有外升降管(2)，所述外升降管(2)内上下滑动连接有内升降管(21)，所述内升降管(21)向下延伸出所述外升降管(2)，并且固定连接有加热盘(3)，用以对基片加热，所述加热盘(3)上开设有圆孔(31)，所述圆孔(31)与所述内升降管(21)连通，所述内升降管(21)内转动连接有旋转轴(22)，所述旋转轴(22)靠近所...

【技术特征摘要】
1.一种实现自动翻面的行星样品台，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)内设置有加热区域(11)，所述加热区域(11)包括中心转轴(12)和若干个加热部(13)，所述中心转轴(12)两端分别开设有U型槽(121)，所述支架(1)顶部开设有通孔(14)，所述通孔(14)内固定连接有外升降管(2)，所述外升降管(2)内上下滑动连接有内升降管(21)，所述内升降管(21)向下延伸出所述外升降管(2)，并且固定连接有加热盘(3)，用以对基片加热，所述加热盘(3)上开设有圆孔(31)，所述圆孔(31)与所述内升降管(21)连通，所述内升降管(21)内转动连接有旋转轴(22)，所述旋转轴(22)靠近所述加热盘(3)的一端设置有缓冲部(4)，所述缓冲部(4)包括驱动头(41)，所述驱动头(41)底部固定连接有U型块(42)，所述U型块(42)与所述U型槽(121)相适配，所述外升降管(2)外侧设置有台架(23)，所述台架(23)上设置有第一升降组件(5)，所述第一升降组件(5)用以带动所述外升降管(2)升降，所述第一升降组件(5)包括第一升降板(51)，所述第一升降板(51)与所述外升降管(2)远离所述加热盘(3)的一端固定连接，所述升降板上设置有第二升降组件(6)，所述第二升降组件(6)用以带动所述旋转轴(22)升降，所述第二升降组件(6)包括第二升降板(61)，所述第二升降板(61)上设置有旋转组件(7)，所述旋转组件(7)用以带动所述旋转轴(22)转动，以使所述加热部(13)移动，所述台架(23)上设置有翻转组件(8)，以使所述加热区域(11)翻转。


2.根据权利要求1所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述加热部(13)绕所述中心转轴(12)圆周运动。


3.根据权利要求2所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述加热部(13)包括第一齿环(131)，所述中心转轴(12)上固定连接有第一齿轮(122)，所述第一齿环(131)均与所述第一齿轮(122)外圈啮合，所述加热区域(11)还包括两个固定环(111)、旋转块(112)和第二齿环(113)，所述支架(1)相对的两侧分别转动连接有所述旋转块(112)，所述固定环(111)固定连接在两个所述旋转块(112)之间，所述第二齿环(113)固定连接在两个所述固定环(111)之间，所述第一齿环(131)外圈均与所述第二齿环(113)内圈啮合，所述中心转轴(12)与所述固定环(111)转动连接。


4.根据权利要求1所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述第一升降板(51)与所述台架(23)之间固定连接有第一波纹管(15)，所述第一升降板(51)与所述第二升降板(61)之间固定连接有第二波纹管(16)，所述外升降管(2)位于所述第一波纹管(15)内，所述第一波纹管(15)与所述第二波纹管(16)之间连通，所述旋转轴(22)向上延伸出所述第二波纹管(16)。


5.根据权利要求4所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述旋转组件(7)包括旋转电机(71)，所述第二升降板(61)上固定连接有空心轴磁流体密封装置(72)，所述空心轴磁流体密封装置(72)顶部固定连接有安装板(73)，所述旋转电机(71)固定连接在所述安装板(73)上，所述旋转轴(22)向上延伸出所述安装板(73)，所述旋转轴(22)与所述旋转电机(71)输出轴之间设置有皮带传动机构(74)。


6.根据权利要求1所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述第一升降组件(5)包括第一平板(56)和第一升降电机(52)，所述第一平板(56)与所述台架(23)之间固定连接有两根第一竖杆(53)，所述第一平板(56)与所述台架(23)之间转动连接有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：金炯，杨林，王福清，
申请(专利权)人：浙江赛威科光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33