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本发明涉及真空镀膜技术领域，公开了一种实现自动翻面的行星样品台，其技术方案要点是包括支架，支架内设置有加热区域，加热区域包括中心转轴和若干个加热部，中心转轴两端分别开设有U型槽，将基片放置在加热部上，通过加热盘对基片进行加热，并且通过第一升...
该专利属于浙江赛威科光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江赛威科光电科技有限公司授权不得商用。

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