一种石墨舟清洗机用工件清洗托载机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟清洗机用工件清洗托载机构，涉及石墨舟清洗技术领域。包括托载座，所述托载座的上端两侧固定连接有限位板，所述限位板的对侧均固定连接有电动推杆，所述托载座的两侧上端均滑动连接有侧板，且电动推杆的端部与侧板固定连接，所述侧板的侧壁通过滚珠转动连接有转盘，所述转盘的一侧固定连有固定板，所述夹持板的一端固定连接有夹合机构。通过设置夹持板、夹合机构、调节螺杆、移动块和连接杆，利用调节螺杆带动移动块移动，移动块拖动连接杆和夹持板向中部靠拢，夹持板端部的夹合机构对舟体进行夹持固定，增加了对舟体固定的稳定性，避免了在清洗舟体时舟体晃动掉落而影响对舟体的清洗。

A supporting mechanism for workpiece cleaning of graphite boat cleaning machine

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟清洗机用工件清洗托载机构
本技术涉及石墨舟清洗
，具体为一种石墨舟清洗机用工件清洗托载机构。
技术介绍
石墨舟在使用过程中接近100次时需要操作人员及时检查镀膜情况，出现镀膜异常，需要进行清洗确认。硅片在石墨舟内正常镀膜颜色为蓝色，片内出现非蓝色、多种颜色或片与片间颜色差异较大，都为镀膜异常，需要工艺确认异常原因。由工艺人员对舟的镀膜情况进行分析后，确定石墨舟是否需要清洗以及卡点是否需要更换，生产将需清洗的舟交由设备人员清洗，石墨舟确定需要清洗后，由设备、生产、工艺三方对石墨舟进行检查，然后完成清洗。在清洗时，需要将舟体放在清洗设备的内部，但是现有技术中的清洗设备内部的托载机构不能对舟体进行很好的固定，而且也并不能调整舟体的角度，导致舟体清洗不均匀。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种石墨舟清洗机用工件清洗托载机构，具备便于调节舟体清洗角度和固定稳定等优点，解决了舟体调节不便和固定不稳的问题。(二)技术方案为实现上述便于调节舟体清洗角度和固定稳定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟清洗机用工件清洗托载机构，包括托载座(1)，其特征在于：所述托载座(1)的上端两侧固定连接有限位板(2)，所述限位板(2)的对侧均固定连接有电动推杆(3)，所述托载座(1)的两侧上端均滑动连接有侧板(4)，且电动推杆(3)的端部与侧板(4)固定连接，所述侧板(4)的侧壁通过滚珠转动连接有转盘(5)，所述转盘(5)的一侧固定连有固定板(6)，所述固定板(6)一侧的上半部和下半部均通过导向机构(7)滑动连接有夹持板(8)，所述夹持板(8)的一端固定连接有夹合机构(9)，所述固定板(6)的中部螺纹连接有调节螺杆(10)，所述调节螺杆(10)的一端通过滚珠轴承转动连接有移动块(11)，所...

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟清洗机用工件清洗托载机构，包括托载座(1)，其特征在于：所述托载座(1)的上端两侧固定连接有限位板(2)，所述限位板(2)的对侧均固定连接有电动推杆(3)，所述托载座(1)的两侧上端均滑动连接有侧板(4)，且电动推杆(3)的端部与侧板(4)固定连接，所述侧板(4)的侧壁通过滚珠转动连接有转盘(5)，所述转盘(5)的一侧固定连有固定板(6)，所述固定板(6)一侧的上半部和下半部均通过导向机构(7)滑动连接有夹持板(8)，所述夹持板(8)的一端固定连接有夹合机构(9)，所述固定板(6)的中部螺纹连接有调节螺杆(10)，所述调节螺杆(10)的一端通过滚珠轴承转动连接有移动块(11)，所述移动块(11)的上端和下端铰接有连接杆(12)，且连接杆(12)的端部与固定板(6)上端和下端的夹持板(8)铰接，所述固定板(6)的另一端贯穿转盘(5)的内部固定连接有调节把手(13)，所述侧板(4)的上半部设有定位机构(14)，且定位机构(14)贯穿侧板(4)与固定板(6)活动连接。


2.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗机用工件清洗托载机构，其特征在于：所述托载座(1)的上端开设有滑槽(15)，所述滑槽(15)的内部滑动连接有滑块(16)，且托载座(1)上端两侧的侧板(4)固定连接在滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔羽，李钊，
申请(专利权)人：苏州聚晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32