保护装置及单片机清洗机台制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种保护装置，用于保护陶瓷片，包括：呈马蹄形的卡座，所述卡座卡在所述陶瓷片的侧面。本实用新型专利技术还提供了一种单片机清洗机台，包括：基座、位于在所述基座上的保护装置，所述保护装置设置在所述陶瓷片的侧面，以及位于所述陶瓷片上的夹头销。在本实用新型专利技术实施例提供的保护装置及单片机清洗机台中，使用马蹄形的卡座作为保护装置，可以在更换夹头销的时候保护陶瓷片不被损坏，节约更换陶瓷片的人力和财力。

【技术实现步骤摘要】
保护装置及单片机清洗机台
本技术涉及半导体制造
，尤其是涉及一种保护装置及单片机清洗机台。
技术介绍
DNSSU3100是单片式清洗机台，包括基座，和基座上面的夹头销，夹头销需要定期更换。而夹头销底部有一层陶瓷片，在更换夹头销的过程中，如果用力过大或是方法不对的话，很容易导致陶瓷片受力破碎。如果陶瓷片破碎，会导致整个夹头销损坏。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种保护装置及单片机清洗机台，在更换夹头销过程中，可以保护陶瓷片不受力损坏。为了达到上述目的，本技术提供了一种保护装置，用于保护陶瓷片，包括：呈马蹄形的卡座，所述卡座卡在所述陶瓷片的侧面。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座的数量为一个或多个，所述卡座为多个时，所述卡座均匀卡在所述陶瓷片上。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座为具有缓冲作用的材质。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座的弧形为椭圆的弧形。可选的，在所述的保护装置中，所述卡座的内圈直径为12mm-14mm，所述卡座的外圈直径为32mm-34mm。可选的，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种保护装置，用于保护陶瓷片，其特征在于，包括：呈马蹄形的卡座，所述卡座卡在所述陶瓷片的侧面。/n

【技术特征摘要】
1.一种保护装置，用于保护陶瓷片，其特征在于，包括：呈马蹄形的卡座，所述卡座卡在所述陶瓷片的侧面。


2.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述卡座的数量为一个或多个，所述卡座为多个时，所述卡座均匀卡在所述陶瓷片上。


3.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述卡座为具有缓冲作用的材质。


4.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述卡座的弧形为椭圆的弧形。


5.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述卡座的内圈直径为12mm-14mm，所述卡座的外圈直径为32mm-34mm。


6.如权利要求1所述的保护...

【专利技术属性】
技术研发人员：施龚伟，张弢，刘鹏，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31