【技术实现步骤摘要】
一种飞秒激光微加工方法及装置
本专利技术涉及激光加工装置
，尤其涉及一种飞秒激光微加工方法及装置。
技术介绍
飞秒微加工技术作为一种新型的加工技术，具有非接触、效率高、热效应小损伤阈值低一级能够给实现真正的三维结构加工等传统技术无法比拟的诸多优点，因此其应用领域十分广泛。现有技术中，专利号CN103317228A公开了一种飞秒激光微加工的同步监测装置，该飞秒激光微加工的同步监测装置包括一台飞秒激光器，沿所述飞秒激光器输出的飞秒激光光路依次设有两个平行全反射镜、衰减片、偏振片、分束棱镜、两个光阑，快门、聚焦透镜和加工对象，加工对象固定在旋转平移装置上并使光阑中心与加工对象的竖直中心线在同一平面上，在旋转平移装置上还固定有L型支架，L型支架上设置有监测用的CCD，旋转平移装置、CCD和L型支架均通过信号线与计算机相连，分束棱镜将飞秒激光分成两束能量完全相同的两束光，一束沿飞秒激光光路，用于加工，另一束沿另一条光路进入功率计，对飞秒激光的能量进行测量，实现了对加工对象表面出现的变化进行实时同步监测，减少因多次...
【技术保护点】
1.一种飞秒激光微加工装置，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内壁上开凿有第一滑槽(101)，所述第一滑槽(101)内部连接有横梁(102)，所述横梁(102)外壁上滑动连接有连接柱(103)，所述连接柱(103)外壁上滑动连接有激光发射组件(104)，所述壳体(1)内壁上还连接有工作台(2)，所述工作台(2)上分别开凿有第一T型槽(201)和第二T型槽(202)，所述工作台(2)内部设置有空腔，所述空腔内部设置有定位夹紧机构，所述定位夹紧机构顶壁上分别连接有第一卡爪(3)和第二卡爪(301)，且所述第一卡爪(3)和第二卡爪(301)分别与第一T型槽(201)和第二...
【技术特征摘要】
1.一种飞秒激光微加工装置，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内壁上开凿有第一滑槽(101)，所述第一滑槽(101)内部连接有横梁(102)，所述横梁(102)外壁上滑动连接有连接柱(103)，所述连接柱(103)外壁上滑动连接有激光发射组件(104)，所述壳体(1)内壁上还连接有工作台(2)，所述工作台(2)上分别开凿有第一T型槽(201)和第二T型槽(202)，所述工作台(2)内部设置有空腔，所述空腔内部设置有定位夹紧机构，所述定位夹紧机构顶壁上分别连接有第一卡爪(3)和第二卡爪(301)，且所述第一卡爪(3)和第二卡爪(301)分别与第一T型槽(201)和第二T型槽(202)相匹配。
2.根据权利要求1所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述定位夹紧机构包括固定板(302)，所述固定板(302)固定连接在空腔内部底壁上，所述固定板(302)顶壁上连接有第一转动盘(303)，所述第一转动盘(303)顶壁上分别连接有第一连杆(304)和第二连杆(305)，所述第一连杆(304)和第二连杆(305)远离第一转动盘(303)的一端均转动连接有第一滑板(306)，所述第一卡爪(3)连接在第一滑板(306)顶壁上，所述第一滑板(306)内壁和固定板(302)外壁之间连接有气缸(307)。
3.根据权利要求2所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述第一转动盘(303)顶壁上连接有连接轴，所述连接轴顶壁上连接有第二转动盘(4)，所述第二转动盘(4)顶壁上分别转动连接有第三连杆(401)和第四连杆(402)，所述第三连杆(401)和第四连杆(402)远离第二转动盘(4)的一端转动连接有第二滑板(403)，且所述第二滑板(403)的顶壁与空腔内部顶壁滑动相连。
4.根据权利要求3所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述第二滑板(403)顶壁上开凿有第二滑槽(404)，所述第二滑槽(404)内部滑动连接有滑块，所述滑块顶壁上连接有转动轴(405)，所述第二卡爪(301)转动连接在转动轴(405)的外壁上。
5.根据权利要求4所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述第二滑槽(404)内壁上连...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋习锋，柳秀明，
申请(专利权)人：济南金威刻科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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