一种波纹管组件的氦质谱检漏装置制造方法及图纸

一种波纹管组件的氦质谱检漏装置，它包括有待检测的波纹管组件，O型密封圈、波纹管内支撑块、上下密封法兰，技术要点是：上密封法兰的外圆卡在波纹管组件的上法兰内侧的台阶处，该上密封法兰与波纹管内支撑块的边沿处设有上O型圈，上密封法兰的连接螺钉与波纹管内支撑块相连接，所述支撑块内还带有波纹管内腔通道；波纹管组件上法兰上设置有侧向漏孔，该侧向漏孔与波纹管组件内腔相连通；在支撑块下部套装有下密封法兰，该下密封法兰外边沿通过下O型圈设置于下法兰上的环型凹槽内。本装置的设计完全满足了带侧向漏孔的波纹管组件的密封性检漏要求。波纹管内腔通道与下法兰上的波纹管内腔抽真空通道对应，就可以进行真空氦质谱检漏了。

【技术实现步骤摘要】
一种波纹管组件的氦质谱检漏装置
本技术涉及波纹管组件检测
，具体地说是一种波纹管组件的氦质谱检漏装置。
技术介绍
金属波纹管是一种弹性元件，在外力和力矩作用下能产生轴向、角向、侧向及其组合位移，两端与各种零部件焊接成组件后，被广泛应用于航天、航空、舰船、核电等领域的阀门及管路中。波纹管组件在阀门及管路中主要起密封、位移补偿等作用，如组件泄漏可能导致整个系统或分系统失效，因此，确保波纹管组件的密封性十分重要。以往与金属波纹管两端焊接的法兰都不带漏孔，进行真空氦质谱检漏时较易实现，直接借助上下两端法兰平面，采用真空胶皮涂抹真空脂法进行就可以实现，而且法兰表面的真空脂用酒精进行擦拭就可以，对表面的清洁程度要求不高。但由于本波纹管组件的一端法兰带有侧向漏孔，而且后续还要进行真空电子束焊接，对法兰表面质量要求非常高，所以再延用以前的方法就无法实现密封和表面清洁，必须设计专用工装才能实施检漏。
技术实现思路
本技术目的是提供一种一端带侧向漏孔法兰的波纹管组件能进行真空氦质谱检漏、而且不采用真空胶皮涂抹真空脂法进行密封的波纹管组件的氦质谱检漏装置。本技术目的是通过如下技术方案来实现的：一种波纹管组件的氦质谱检漏装置，它包括有待检测的波纹管组件，O型密封圈、波纹管内支撑块、上下密封法兰，其特征在于：上密封法兰的外圆卡在波纹管组件的上法兰内侧的台阶处，该上密封法兰与波纹管内支撑块的边沿处设有上O型橡胶密封圈，上密封法兰的连接螺钉与波纹管内支撑块相连接，所述支撑块内还带有波纹管内腔通道；波纹管组件上法兰上设置有侧向漏孔，该侧向漏孔与波纹管组件内腔相连通；在支撑块下部套装有下密封法兰，该下密封法兰外边沿通过下O型密封圈设置于下法兰上的环型凹槽内。本技术还包括：所述波纹管内腔通道与下密封法兰上的波纹管内腔抽真空通道对应并连通。上述波纹管组件由带侧向漏孔2的上法兰1、波纹管3和下法兰4组成。本技术由于采用O型圈形式进行密封，避免直接接触真空脂，便于后续真空电子束焊接，而且支撑块的高度要根据波纹管组件的长度进行计算，过高或过短都达不到密封作用。a.上密封法兰和支撑块连接后要从波纹管组件的下端进行安装；b.上密封法兰的最大外圆正好卡在上法兰内侧的台阶处才可以拧紧螺钉c.支撑块要与下密封法兰留有一段适当距离，保证波纹管组件内腔在抽真空时，上端O型圈处密封良好，如距离过大，上部整个法兰在真空抽力作用下，会向下移动，O型圈有可能会与上法兰脱离，起不到密封作用，如距离过小，下端的O型圈变形量小，密封效果不好，影响检漏精度。所以，本装置的设计完全满足了带侧向漏孔的波纹管组件的密封性检漏要求。另外，通过螺钉的旋紧可以对密封副进行微调。本结构的波纹管组件两端都采用O型橡胶密封圈进行密封，解决了波纹管组件不允许直接接触真空脂问题。另外，支撑块的高度要根据波纹管组件的长度和预抽力进行设计，过长或过短都不能起到密封作用。应用：该种金属波纹管组件的氦质谱检漏装置可以根据不同的产品，设计不同的法兰和更换不同的密封圈，从而实现其它规格波纹管组件的检漏要求。附图说明图1是本技术的剖视置示意简图；图2是氦质谱检漏仪示意简图。附图中主要部件说明：1.上法兰；2.侧向漏孔；3.波纹管；4.下法兰；5.下O型橡胶密封圈；6.下密封法兰；7.螺钉；8.上密封法兰；9.上O型橡胶密封圈；10.波纹管内支撑块；11、波纹管内腔通道；12.波纹管内腔抽真空通道；13.波纹管组件内腔；14.真空口；15.氦质谱检漏仪。下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可根据这些附图获得其他的附图。具体实施方式实例1由附图1-2所示，图中的3为波纹管，6为下密封法兰，8为上密封法兰，所述上密封法兰的外圆卡在波纹管3的上法兰1内侧的台阶处，该上密封法兰8与波纹管内支撑块10的边沿处设有上O型橡胶密封圈9，上密封法兰8的连接螺钉7与波纹管内支撑块10相连接，所述波纹管内支撑块内10还带有波纹管内腔通道11；波纹管组件的上法兰1上设置有侧向漏孔2，该侧向漏孔2与波纹管组件内腔13相连通；在支撑块下部套装有下密封法兰6，该下密封法兰6外边沿通过下O型橡胶密封圈5设置于下法兰4上的环型凹槽内。波纹管内腔通道11与下密封法兰6上的波纹管内腔抽真空通道12对应并连通。工作过程：1、先将上O型橡胶密封圈9放入波纹管内支撑块10的小径外圆处；2、用螺钉7将上密封法兰8和波纹管内支撑块10连接上，暂不拧紧；3、将侧向漏孔2装配好的零件从波纹管组件的下法兰4端装入波纹管内腔13中，当上密封法兰8的最大直径端卡在上法兰1内侧的台阶处时，用螺钉7将上密封法兰8和支撑块10拧紧，直至不松动为止；4、将下O型橡胶密封圈5放置于下密封法兰6上的环型凹槽处；5、将下密封法兰6放置于氦质谱检漏仪上的真空口14上面，确保真空通道12在真空口14的漏孔处，两者采用真空脂进行密封；6、将波纹管3与装配好的螺钉7、上密封法兰8、上O型橡胶密封圈9、波纹管内支撑块10零件同时放在下密封法兰6上面，使下法兰4下端正好置于下O型橡胶密封圈5处对应密封；7、上面工作准备就绪后，就可以启动氦质谱检漏仪15将波纹管组件内腔抽真空，当漏率达到设备预定设置值时，就可以采用喷吹法对波纹管组件进行真空氦质谱检漏了，如果有氦气从漏孔中流入，则装置内的氦分压就会上升，氦检漏仪上的漏率显示就会变化，否则，检漏仪的显示无变化，从而完成波纹管组件的检测。其中：1、上密封法兰8和波纹管内支撑块10通过螺钉7连接后要从波纹管组件的下法兰4端装入；2、波纹管内支撑块10的高度要根据波纹管组件的长度来设计，如过短，在抽真空的过程中，整个上密封法兰8和波纹管内支撑块10会向下移动，达不到密封效果；如过长，下O型橡胶密封圈5处的密封效果不佳。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种波纹管组件的氦质谱检漏装置，它包括有待检测的波纹管组件，O型密封圈、波纹管内支撑块、上下密封法兰，其特征在于：上密封法兰的外圆卡在波纹管组件的上法兰内侧的台阶处，该上密封法兰与波纹管内支撑块的边沿处设有上O型橡胶密封圈，上密封法兰的连接螺钉与波纹管内支撑块相连接，所述支撑块内还带有波纹管内腔通道；波纹管组件上法兰上设置有侧向漏孔，该侧向漏孔与波纹管组件内腔相连通；在支撑块下部套装有下密封法兰，该下密封法兰外边沿通过下O型密封圈设置于下法兰上的环型凹槽内。/n

【技术特征摘要】
1.一种波纹管组件的氦质谱检漏装置，它包括有待检测的波纹管组件，O型密封圈、波纹管内支撑块、上下密封法兰，其特征在于：上密封法兰的外圆卡在波纹管组件的上法兰内侧的台阶处，该上密封法兰与波纹管内支撑块的边沿处设有上O型橡胶密封圈，上密封法兰的连接螺钉与波纹管内支撑块相连接，所述支撑块内还带有波纹管内腔通道；波纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：张秀华，宋林红，张文良，张大林，关长江，于翔麟，王雪，王记兵，邢卓，马志承，徐大鹿，孟多南，戴洋，孙志涛，
申请(专利权)人：沈阳仪表科学研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21