一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法技术

本发明专利技术公开了一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法，包括以下步骤；A、采用N离子对刀具表面氧化层进行离子清洗；B、通过离子注入N的方法在刀刃近表面和表面形成注入层；C、在注入层的表面同时进行氮离子注入和TiN离子溅射，沉积一层硬质TiN沉积层。本发明专利技术先采用离子注入的方法在刀具基体表面形成注入层，增加刀刃的硬度、强度及耐摩擦性能的同时，改善刀具表面与后续涂层间的物理、化学匹配性能，为获得高结合强度刀具涂层奠定基础。然后通过离子注入法辅助离子溅射沉积方法制备较厚涂层，可以进一步提高涂层的结合强度，使得刀具在生产加工时涂层不会因冲击导致脱落而影响加工效率和效果，可满足更高、更苛刻的环境要求。

【技术实现步骤摘要】
一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法
本专利技术涉及刀具加工领域，更具体地说，涉及一种刀具涂层制造方法。
技术介绍
随着现代制造业的快速发展，多种新型制造工艺、新材料得到广泛应用，如：高速切削、干式/准干式切削、高温合金、钛合金和超高强度钢等，在其切削过程中都有切削力大、切削温度高、刀具磨损严重等问题，严重影响刀具的使用寿命。为实现制造业的高效、低成本生产，制备具有高硬度、高结合强度、高耐磨等良好综合切削性能的刀具具有很好的工程实际应用价值。现有技术中，常通过物理沉积和化学沉积的方法在刀具上涂制硬质涂层，这种方法在一定程度上能够提高刀具的强度、硬度、耐摩擦磨损性能以及使用寿命，然而，这类涂层疏松多孔，力学性能稍差，与刀体结合强度低，容易出现涂层脱落，影响刀具的使用寿命。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法。本专利技术使用离子注入与离子溅射沉积技术，充分发挥离子注入强化层结合强度高和溅射沉积效率高、可形成较厚涂层的优点，制备具有高结合强度和高硬度的刀具涂层。本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法，其特征在于：包括以下步骤；/nA、采用N离子对刀具表面氧化层进行离子清洗；/nB、通过离子注入N的方法在刀刃近表面和表面形成注入层；/nC、在所述注入层的表面同时进行氮离子注入和TiN离子溅射，沉积一层硬质TiN沉积层。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法，其特征在于：包括以下步骤；
A、采用N离子对刀具表面氧化层进行离子清洗；
B、通过离子注入N的方法在刀刃近表面和表面形成注入层；
C、在所述注入层的表面同时进行氮离子注入和TiN离子溅射，沉积一层硬质TiN沉积层。


2.根据权利要求1所述的离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法，其特征在于，步骤A中，离子清洗的参数为：离子源通过气体为氮气，...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁力，肖菲，张法光，杨丽萍，韩洪雄，
申请(专利权)人：贵州省机电研究设计院，
类型：发明
国别省市：贵州;52