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一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法技术
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文档序号:26496269
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本发明公开了一种离子辅助溅射沉积制备TiN刀具涂层方法,包括以下步骤;A、采用N离子对刀具表面氧化层进行离子清洗;B、通过离子注入N的方法在刀刃近表面和表面形成注入层;C、在注入层的表面同时进行氮离子注入和TiN离子溅射,沉积一层硬质TiN...
该专利属于贵州省机电研究设计院所有,仅供学习研究参考,未经过贵州省机电研究设计院授权不得商用。
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