本实用新型专利技术公开一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，其包括具有进气口和出气口的过滤室，过滤室内设置有具有排气口的排气通道，排气通道的排气口与过滤室的出气口连通，排气通道上设置有多个用于供气体排出的排气孔；排气通道外设有多个间隔设置的过滤组件，气体经过过滤组件后自排气孔滤出至排气通道内；过滤室的进气口或出气口处设置有抽真空装置，抽真空装置用于将排气通道内的过滤后的气体抽出。本实用新型专利技术涉及的粉尘过滤装置，通过设置多个过滤组件来过滤LYDOP设备在生产工艺中产生的粉尘，增加气体的有效过滤面，显著改善粉尘的过滤效果，提高真空泵的使用寿命，降低成本；具有双向设计防呆，大大降低误装配造成的不良后果。
【技术实现步骤摘要】
一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置
本技术涉及粉尘过滤领域，尤其涉及一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置。
技术介绍
LYDOP(减压扩散技术)设备在生产中会产生很多粉尘，这些分层会对尾气端的真空系统产生污染和堵塞，所以在LYDOP设备的反应室出气口端需要增加过滤装置，把产生的粉尘过滤干净。目前常见的颗粒过滤器是采用传统的纸质滤芯过滤装置，只存在粗滤和精馏两级滤筒。采用两级颗粒过滤器的使用效果并不理想，气体中存留的颗粒会严重影响真空泵的使用寿命，进而造成成本上升。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本技术提供了一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，能显著改善粉尘的过滤效果，提高真空泵的使用寿命，降低成本，所述技术方案如下：本技术提供一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，其包括一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，所述粉尘过滤装置设置在真空反应室的出口，所述粉尘过滤装置包括具有进气口和出气口的过滤室，所述过滤室内设置有具有排气口的排气通道，所述排气通道的排气口与所述过滤室的出气口连通，所述排气通道上设置有多个用于供气体排出的排气孔，所述排气孔与所述排气通道的排气口连通；所述排气通道外设有多个间隔设置的过滤组件，所述真空反应室内气体经过多个过滤组件后自所述排气孔滤出至排气通道内，气体中的滤除物被拦截在所述过滤组件上；所述过滤室的进气口或出气口处设置有抽真空装置，所述抽真空装置用于将排气通道内的过滤后的气体抽出。进一步地，所述过滤组件上设置有支撑件，每相邻两个支撑件之间保持间距，所述支撑件上设置有至少一个通气孔，气体经过所述通气孔和过滤组件后自所述排气孔滤出至排气通道内。进一步地，所述过滤组件和支撑件均能够可拆卸地设置在所述过滤室内且设置在排气通道外。进一步地，所述支撑件为环形结构或方形结构。进一步地，所述过滤组件包括过滤部件及设置在过滤部件下的滤芯，所述过滤部件上设置有多个滤出孔，所述滤出孔与所述排气通道的排气孔连通。进一步地，所述过滤部件由过滤材料制成，所述过滤部件为过滤网、网布、过滤棉、活性炭中的一种。进一步地，所述过滤室为圆柱结构、方体结构或异形体结构。进一步地，所述过滤室与排气通道均竖直设置，所述多个过滤组件沿过滤室的上下方向逐层设置。进一步地，所述过滤室水平设置，所述多个过滤组件与排气通道沿过滤室的左右方向设置。进一步地，所述排气通道为一端封闭、另一端开口的筒体结构，或所述排气通道的两端均具有开口。本技术提供的技术方案带来的有益效果如下：a.本技术涉及的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，通过设置多个过滤组件，即多层滤网与多层滤芯结合来过滤LYDOP设备在生产工艺中产生的粉尘，能显著改善粉尘的过滤效果，提高真空泵的使用寿命，降低成本；b.本技术涉及的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置的气体过滤并不局限于单向，反向设计亦可实现，大大降低了误装配造成的不良后果；具有双向设计防呆，更高的容错率，显著提高设备寿命；c.本技术涉及的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，通过设置支撑件来调整气体气路的流通方向，增加气体的有效过滤面，提高过滤效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例提供的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置的主视图；图2是本技术实施例提供的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置的图1中过滤部件的放大图；图3是本技术实施例提供的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置的支撑件的第一种结构的主视图；图4是本技术实施例提供的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置的支撑件的第二种结构的主视图。其中，附图标记包括：1-过滤室，11-进气口，12-出气口，2-排气通道，21-排气孔，3-支撑件，31-通气孔，4-过滤部件，5-滤芯。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、装置、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。在本技术的一个实施例中，提供了一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，具体结构参见图1，所述粉尘过滤装置设置在真空反应室的出口，所述粉尘过滤装置包括过滤室1，所述过滤室1具有进气口11和出气口12，所述过滤室1为具有中空空间的腔室，其有多种结构形式，如所述过滤室1为圆柱结构、方体结构或异形体结构。所述过滤室1内设置有排气通道2，所述排气通道2具有排气口，所述排气通道2的排气口与所述过滤室1的出气口12连通，所述排气通道2上设置有多个用于供气体排出的排气孔21，所述排气孔21与所述排气通道2的排气口连通，排气孔21优选设置在排气通道2底部(底部指远离排气口的位置)。所述排气通道2可为多种结构，如所述排气通道2为一端封闭、另一端开口的筒体结构，或所述排气通道2为一端封闭、另一端开口的方体结构，或所述排气通道2的两端均为开口设计，无论哪种方式，其靠近出气口12的开口处形成排气口。所述排气通道2外设有多个间隔设置的过滤组件，每一个过滤组件与排气通道不平行，优选垂直设置，使得每一个过滤组件形成一个独立的过滤空间，所述真空反应室内气体由进气口经过过滤组件后自所述排气孔21滤出至排气通道2内，气体中的滤除物被拦截在所述过滤组件上；所述过滤室的进气口11或出气口12处设置有抽真空装置，所述抽真空装置用于将排气通道2内的过滤后的气体抽出并输送至下一工序，抽真空装置产生负压，以将排气通道2内的过滤后的气体抽出。所述多个过滤组件的设置位置根据过滤室结构进行设置，第一种形式是：所述过滤室1竖直设置(即Y轴方向)时，所述多个过滤组件沿所述过滤室1的上下方向设置，那么所述排气通道2竖直设置。第二种形式是：所述过滤室1水平设置(即X轴方向)时，所述多个过滤组件与排气通道2沿过滤室1的左右方本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，所述粉尘过滤装置设置在真空反应室的出口，其特征在于，所述粉尘过滤装置包括具有进气口(11)和出气口(12)的过滤室(1)，所述过滤室(1)内设置有具有排气口的排气通道(2)，所述排气通道(2)的排气口与所述过滤室(1)的出气口(12)连通，所述排气通道(2)上设置有多个用于供气体排出的排气孔(21)，所述排气孔(21)与所述排气通道(2)的排气口连通；/n所述排气通道(2)外设有多个间隔设置的过滤组件，所述真空反应室内气体经过多个过滤组件后自所述排气孔(21)滤出至排气通道(2)内，气体中的滤除物被拦截在所述过滤组件上；所述过滤室(1)的进气口(11)或出气口(12)处设置有抽真空装置，所述抽真空装置用于将排气通道(2)内的过滤后的气体抽出。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，所述粉尘过滤装置设置在真空反应室的出口，其特征在于，所述粉尘过滤装置包括具有进气口(11)和出气口(12)的过滤室(1)，所述过滤室(1)内设置有具有排气口的排气通道(2)，所述排气通道(2)的排气口与所述过滤室(1)的出气口(12)连通，所述排气通道(2)上设置有多个用于供气体排出的排气孔(21)，所述排气孔(21)与所述排气通道(2)的排气口连通；
所述排气通道(2)外设有多个间隔设置的过滤组件，所述真空反应室内气体经过多个过滤组件后自所述排气孔(21)滤出至排气通道(2)内，气体中的滤除物被拦截在所述过滤组件上；所述过滤室(1)的进气口(11)或出气口(12)处设置有抽真空装置，所述抽真空装置用于将排气通道(2)内的过滤后的气体抽出。
2.根据权利要求1所述的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，其特征在于，每个过滤组件上设置有支撑件(3)，每相邻两个支撑件(3)之间保持间距，所述支撑件(3)上设置有至少一个通气孔(31)，气体经过所述通气孔(31)和过滤组件后自所述排气孔(21)滤出至排气通道(2)内。
3.根据权利要求2所述的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，其特征在于，所述过滤组件和支撑件(3)均能够可拆卸地设置在所述过滤室(1)内且设置在排气通道(2)外。
4.根据权利要求2所述的用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：章森，任俊江，薇儿妮卡·夏丽叶，张灵，肖益波，
申请(专利权)人：赛姆柯苏州智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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