一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，其包括具有进气口和出气口的过滤室，过滤室内设置有具有排气口的排气通道，排气通道的排气口与过滤室的出气口连通，排气通道上设置有多个用于供气体排出的排气孔；排气通道外设有多个间隔设置的过滤组件，气体经过过滤组件后自排气孔滤出至排气通道内；过滤室的进气口或出气口处设置有抽真空装置，抽真空装置用于将排气通道内的过滤后的气体抽出。本实用新型专利技术涉及的粉尘过滤装置，通过设置多个过滤组件来过滤LYDOP设备在生产工艺中产生的粉尘，增加气体的有效过滤面，显著改善粉尘的过滤效果，提高真空泵的使用寿命，降低成本；具有双向设计防呆，大大降低误装配造成的不良后果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置
本技术涉及粉尘过滤领域，尤其涉及一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置。
技术介绍
LYDOP(减压扩散技术)设备在生产中会产生很多粉尘，这些分层会对尾气端的真空系统产生污染和堵塞，所以在LYDOP设备的反应室出气口端需要增加过滤装置，把产生的粉尘过滤干净。目前常见的颗粒过滤器是采用传统的纸质滤芯过滤装置，只存在粗滤和精馏两级滤筒。采用两级颗粒过滤器的使用效果并不理想，气体中存留的颗粒会严重影响真空泵的使用寿命，进而造成成本上升。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本技术提供了一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，能显著改善粉尘的过滤效果，提高真空泵的使用寿命，降低成本，所述技术方案如下：本技术提供一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，其包括一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，所述粉尘过滤装置设置在真空反应室的出口，所述粉尘过滤装置包括具有进气口和出气口的过滤室，所述过滤室内设置有具有排气口的排气通道，所述排气通道的排气口与所述过滤室的出气口连通，所述排气通道上设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，所述粉尘过滤装置设置在真空反应室的出口，其特征在于，所述粉尘过滤装置包括具有进气口(11)和出气口(12)的过滤室(1)，所述过滤室(1)内设置有具有排气口的排气通道(2)，所述排气通道(2)的排气口与所述过滤室(1)的出气口(12)连通，所述排气通道(2)上设置有多个用于供气体排出的排气孔(21)，所述排气孔(21)与所述排气通道(2)的排气口连通；/n所述排气通道(2)外设有多个间隔设置的过滤组件，所述真空反应室内气体经过多个过滤组件后自所述排气孔(21)滤出至排气通道(2)内，气体中的滤除物被拦截在所述过滤组件上；所述过滤室(1)的进气口(11)...

【技术特征摘要】
1.一种用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，所述粉尘过滤装置设置在真空反应室的出口，其特征在于，所述粉尘过滤装置包括具有进气口(11)和出气口(12)的过滤室(1)，所述过滤室(1)内设置有具有排气口的排气通道(2)，所述排气通道(2)的排气口与所述过滤室(1)的出气口(12)连通，所述排气通道(2)上设置有多个用于供气体排出的排气孔(21)，所述排气孔(21)与所述排气通道(2)的排气口连通；
所述排气通道(2)外设有多个间隔设置的过滤组件，所述真空反应室内气体经过多个过滤组件后自所述排气孔(21)滤出至排气通道(2)内，气体中的滤除物被拦截在所述过滤组件上；所述过滤室(1)的进气口(11)或出气口(12)处设置有抽真空装置，所述抽真空装置用于将排气通道(2)内的过滤后的气体抽出。


2.根据权利要求1所述的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，其特征在于，每个过滤组件上设置有支撑件(3)，每相邻两个支撑件(3)之间保持间距，所述支撑件(3)上设置有至少一个通气孔(31)，气体经过所述通气孔(31)和过滤组件后自所述排气孔(21)滤出至排气通道(2)内。


3.根据权利要求2所述的用于LYDOP设备的粉尘过滤装置，其特征在于，所述过滤组件和支撑件(3)均能够可拆卸地设置在所述过滤室(1)内且设置在排气通道(2)外。


4.根据权利要求2所述的用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：章森，任俊江，薇儿妮卡·夏丽叶，张灵，肖益波，
申请(专利权)人：赛姆柯苏州智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32