一种实现检测铁电薄膜微波介电特性的方法的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置，该装置包括基片，基片上覆盖有待测铁电薄膜，待测铁电薄膜上设有共面波导线，该共面波导线包括主传输线和主传输线两侧被缝隙隔开的接地面，所述待测铁电薄膜上还设有１／４波长共面开路线，该１／４波长共面开路线包括传输线和传输线两侧被缝隙隔开的接地面，传输线末端为开路端，该传输线与所述共面波导线上的主传输线相连接。由于本发明专利技术的共面波导线上连接有１／４波长共面开路线，利用１／４波长共面开路线所形成的谐振峰可方便地得到待测薄膜的介电特性，并且利用平面工艺可以一次形成检测铁电薄膜时所需要的图形。因此，与现有技术相比，本发明专利技术的技术方案结构原理简单、器件制作及装配容易、方便实用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微波工程领域，具体涉及一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置。
技术介绍
从二十世纪六十年代以来，铁电材料已被研究应用于微波器件，包括电调制变容器、电调谐振器、移相器、滤波器、功分器及振荡器等，这些器件在通信及雷达系统中有着广泛的应用。和铁磁调制器件及PIN二极管调制器件相比，铁电调制器件具有调制速度快，体积小及重量轻等优点。此外它们利用外加电场改变其介电常数，所以功率损耗也很低。到目前为止，在微波应用领域研究的最为广泛的铁电材料是钛酸锶钡薄膜(BaxSr1-xTiO3)，分子式中x/(1-x)是钡与锶的比例，其中x值可从0变到1，相应的钛酸锶钡薄膜的居里温度点可以从纯钛酸锶薄膜的居里温度点(小于0K)到钛酸钡薄膜的居里温度点(400K)。通过调整钡锶组份的方法可以选择钛酸锶钡薄膜的工作温区。x取0.5时，钛酸锶钡薄膜常被用来制作在室温下工作的器件。目前，通常采用两种结构来测量钛酸锶钡薄膜在低频下的介电特性，即共面电容结构和平行板电容结构，钛酸锶钡薄膜的介电特性可以从测得的电容值及损耗值来求出，这通常采用保角变换的方法来实现。在微波频段下，常用微带谐振器或共面传输本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：（一）在基片表面沉积待测铁电薄膜；（二）用磁控溅射的方法在待测铁电薄膜上镀金属薄膜，该金属薄膜形成共面波导线和１／４波长共面开路线，该１／４波长共面开路线包括传输线和传输线两侧被缝隙隔开的接地面，传输线末端为开路端，该传输线与所述共面波导线上的主传输线相连接；（三）在待测铁电薄膜上加电压，改变待测薄膜的介电常数和介电损耗，并利用网络分析仪对待测薄膜的介电常数、介电损耗取等差数列的形式进行仿真；（四）从仿真得到的谐振曲线上得出不同的介电常数对应不同的谐振频率值，介电常数与谐振频率值之间遵从线性关系，把测量得到的谐振频率值代入所求...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孟庆端，张雪强，李翡，孙亮，黄建冬，张强，李春光，黎红，何豫生，何艾生，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]