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本发明公开了一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置，该装置包括基片，基片上覆盖有待测铁电薄膜，待测铁电薄膜上设有共面波导线，该共面波导线包括主传输线和主传输线两侧被缝隙隔开的接地面，所述待测铁电薄膜上还设有１／４波长共面开路线，该１／４波...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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