一种可弯曲的气囊式等离子体发生器制造技术

一种可弯曲的气囊式等离子体发生器，属于大气压低温等离子体技术领域，其特征在于，由点阵式金属放电电极和介质阻挡层结合而成的平板型混合放电电极、以弹性气囊筒为主构成的等离子体容纳结构和等离子体出口处加装的专用镂空掩膜层共同组成。其中：所述平板型混合放电电极既有良好的弯曲性又降低电源的功率需求；由气囊筒构成的柔性容纳结构保证了等离子体与待处理表面距离可调的需求；镂空式掩膜结构满足了不同用户对输出等离子体作用位置、面积和轮廓形状的不同需求。本发明专利技术是一种轻便型、中小功率等离子体发生器，对一般的被处理物体的表面具有普遍适用性。

【技术实现步骤摘要】
一种可弯曲的气囊式等离子体发生器
一种可弯曲的气囊式等离子体发生器，属于大气压低温轻便型、中小功率的等离子体发生器领域。技术背景产生大气压低温等离子体的方法繁多，最常用的为介质阻挡放电、单电极电晕放电，根据应用场景，不同的放电形式对应相应的等离子体发生器。采用介质阻挡结构产生低温等离子体具有结构简单、运行稳定、作用距离长、活性物种种类多、浓度高等特点，广泛用于大气压开放环境下低温等离子体的产生。目前，介质阻挡放电等离子体发生器主要为介质阻挡放电射流型和介质阻挡沿面放电型。其中，介质阻挡放电射流型可适应不同结构的被处理表面，但有效等离子体面积小，单次处理面积小、效率低且处理不均匀。介质阻挡沿面放电型为固定式刚性结构，虽可在其电极表面产生大面积等离子体，但实际应用中只能处理平整表面，在特殊结构表面处理时(如热特性敏感的医疗器械的消毒、人造骨骼的表面改性、大面积薄膜的表面处理和形状不规则精密零件的表面处理等)存在诸多限制。除此之外，介质阻挡放电在实际应用中还存在诸多共性问题。如专利CN101902872A公开了“大面积平板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可弯曲的气囊式等离子体发生器，其特征在于，在面向被处理物体表面的正向，自上而下地包括：可弯曲的介质绝缘层(1)、可弯曲的柔性电极层(2)、可弯曲的电极支架(3)、柔性气囊(4)、等离子体发生器出口处加装的专用掩膜层(5)以及接地电极(6)，其中：/n可弯曲的介质绝缘层(1)，在上端面中心位置开设有射频电源插口(11)；/n可弯曲的柔性电极层(2)，是一种由底面带有圆形凸起的点阵式金属放电电极(21)和弥散地喷涂在各所述圆形凸起之间的介质阻挡层(22)组合而成的平板型混合放电电极，其上端面与所述可弯曲的介质绝缘层(1)的底面粘接，介质阻挡层(22)的垂直高度低于金属放电电极(21)底面的...

【技术特征摘要】
1.一种可弯曲的气囊式等离子体发生器，其特征在于，在面向被处理物体表面的正向，自上而下地包括：可弯曲的介质绝缘层(1)、可弯曲的柔性电极层(2)、可弯曲的电极支架(3)、柔性气囊(4)、等离子体发生器出口处加装的专用掩膜层(5)以及接地电极(6)，其中：
可弯曲的介质绝缘层(1)，在上端面中心位置开设有射频电源插口(11)；
可弯曲的柔性电极层(2)，是一种由底面带有圆形凸起的点阵式金属放电电极(21)和弥散地喷涂在各所述圆形凸起之间的介质阻挡层(22)组合而成的平板型混合放电电极，其上端面与所述可弯曲的介质绝缘层(1)的底面粘接，介质阻挡层(22)的垂直高度低于金属放电电极(21)底面的圆形凸起的垂直高度，从而在空间形成一个由介质阻挡平板和金属裸露圆形电极耦合生成的混合放电电场，从而用以激发气体产生等离子体；
可弯曲的电极支架(3)，由一种可弯曲绝缘材料制成，内侧面与可弯曲的介质绝缘层(1)和可弯曲的柔性电极层(2)的外侧面环形联接；
柔性气囊(4)从上到下主要包括：上支撑环(41)、气囊(42)和下支撑环(43)，其中：
上支撑环(41)包括：上柔性支撑环架(411)和上柔性支撑环(412)，其中：
上柔性支撑环(412)由可弯曲绝缘橡胶材料制成，其环的上端面与可弯曲的电极支架(3)的下端面环形联接；
上柔性支撑环架(411)是一个实心的橡胶环，嵌入到所述上柔性支撑环(412)的环形凹槽内；
下支撑环(43)包括：下柔性支撑环架(431)和下柔性支撑环(432)，其中：
下柔性支撑环架(431)所用材料与所述上柔性支撑环架(411)相同，形...

【专利技术属性】
技术研发人员：李和平，李静，方川，陈坚，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11