扩展式鉴相型容栅传感器制造技术

一种扩展式鉴相型容栅传感器，特别是直线运动型式的传感器，其副栅（５）上的发射极板（３）由传统的连续排列扩展为按组分列，组间间距等于主栅的一个节距或是节距的整数倍，各发射极板（３）在偶合区域外按一定规律扩散并与相应的导电孔相连。各组发射极板（３）之间采取屏蔽措施，屏蔽极板（４）与发射极板（３）之间的间距ａ等于相邻发射极板（３）之间的间距ｂ。本实用新型专利技术可以在小节距的传感器上采用金属化孔的方式导电，它特别适用于直线运动方式，也适用于回转运动方式。（*该技术在2008年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属鉴相型容栅传感器(以下简称传感器)。特别是直线位移的传感器。鉴相型容栅传感器广泛运用在电子数显量具，诸如电子数显卡尺、电子数显表及电子数显千分尺等产品上。其工作原理是通过主、副栅间的相对运动来采集位移信号，经大规模集成电路进行数据处理后输出数字信号，从而获得主、副栅之间的相对运动距离。传统的反射式传感器其副栅(2)的发射栅极板(1)均是连续排列的(附附图说明图1)，八路驱动信号从副栅(2)的背面通过金属化孔传到发射栅极板(1)上，这种导电方式极适用于大节距的传感器，但对于小节距的传感器，由于难于排列众多的导电孔，只能用跳线方式或多层布线方式等较为复杂的工艺方法来导电。本技术的目的是要提供一种扩展式的传感器，它可以在小节距的传感器上采用较简单的金属化孔的方式导电，从而提高工效，降低生产成本，并解决了由于跳线凸块而无法在电子数显卡尺上应用小节距传感器的难题。下面借助附图2对本技术的实施方案作进一步的详述。图2是扩展式传感器工作状态的示意图。本技术的实质是将连续排列的发射极板扩展为按组分列，其特点在于1)各组发射极板(3)之间的组间间距等于主栅的一个节距或是主栅节距的整数倍。本文档来自技高网...

【技术保护点】
扩展式容栅传感器（以下简称传感器），特别是直线运动型式的传感器，其副栅（５）上的发射极板（３）按组分列，组间间距等于主栅的一个节距或是主栅节距的整数倍。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周铁，
申请(专利权)人：桂林市精达数字产品有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：45[中国|广西]