【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于小型测量装置如电子千分尺、测孔仪、千分表、角度测量仪等的电容式位移测量装置。已经开发了各种进行直线或角度测量的各种电容式测量装置，其中两个标度部分相互关联地放置，这两个标度部分上分别安排了容性耦合电极，通过检测电极之间的电容变化确定两个标度部分的相对位置。这些电容式测量传感器的精度由标度部分上电极的分割数决定。因此，为了得到高的分辨率，需要使发送电极和接收电极中的至少一种电极做得精细。图29表示现有的电容式位移测量装置的示意图。该装置包括相互位置可以变动的第一和第二标度部分。在第一标度部分上，排列着以恒定间隔隔开的多个第一发送电极1，接收电极4沿着该标度部分的纵向放置。在这种情况下，第一发送电极1的每个单元包括8个电极。从脉冲调制电路6产生8种相位的正弦波信号，这些信号根据来自振荡器5的时钟脉冲被通以脉冲，并且它们的相位相互之间差45°，被送至第一发送电极1。因此，发送电极1的每个单元的宽度等于发送波长间距Wt1。在第二标度部分上排列着第二接收电极2，其间距Pr2等于发送波长间距Wt1，第二接收电极2与第一标度部分上的4个发送电极1容性耦合...
【技术保护点】
一种电容式测量装置，用于测量相隔一个预定的间隙、相互可运动地安装的第一和第二部件之间的相对位置，该装置包括：放置在所述第一部件上的发送电极阵列，相互间相位不同的交变信号送至每个发送电极；放置在所述第一部件上的接收电极，与所述发送电极阵列隔开；以及放置在所述第二部件上的耦合电极，与所述发送电极阵列中的多个电极和所述接收电极容性耦合，所述接收电极用于输出对应于所述第一和第二部件之间的相对位置的电信号，该电信号被送至测量电路，其中所述第一和第二部件中的一个是具有圆筒形外表面的内部件，另一个是具有不完全圆筒形内表面的外部件，该不完全圆筒形内表面与所述外表面相对，相隔一个预定的间隙，...
【技术特征摘要】
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