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一种扩展式鉴相型容栅传感器，特别是直线运动型式的传感器，其副栅（５）上的发射极板（３）由传统的连续排列扩展为按组分列，组间间距等于主栅的一个节距或是节距的整数倍，各发射极板（３）在偶合区域外按一定规律扩散并与相应的导电孔相连。各组发射极板（...
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