【技术实现步骤摘要】
一种集成式全固态pH传感器及其制备方法
本专利技术涉及微电子器件工艺领域，尤其涉及一种集成式全固态pH传感器微探针及其制备方法。
技术介绍
在医学研究和临床上对生物体体液和血液等pH值的实时监测是十分重要的，特别是病人在手术前进行麻醉时需要经过多次采血，通过测量血液的pH值来判定麻醉的程度，如果不用采血即可实时监测麻醉过程中血液的pH值变化，这对手术前的麻醉来说具有重意义。因此这就需要有一种具有灵敏度高、响应速度快、且可以对少量溶液进行测量的pH传感器。而传统的pH测量计由于尺寸大而无法对少量溶液进行测量，且响应速度慢，显然无法满足要求。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种集成式全固态pH传感器微探针及其制备方法，将全固态AlGaN/GaNpH传感器封装在注射用的医用针头的针尖部位，以实现医学上对生物体液或血液pH值的监测。本专利技术所采用的技术方案是：一种集成式全固态pH传感器微探针，其特征在于，包括pH传感器、柔性线路板和医用注射针头，所述医用注射针头包括针管、针尖...
【技术保护点】
1.一种集成式全固态pH传感器微探针，其特征在于，包括pH传感器、柔性线路板和医用注射针头，所述医用注射针头包括针管、针尖和针座，所述pH传感器包括感测模块、传输导线和引出电极，所述pH传感器的感测模块通过传输导线和引出电极与柔性线路板连接，所述pH传感器封装在针管内，所述感测模块封装在针尖部位，所述感测模块上边沿处于针尖部位斜切口切平面上，所述传输导线和引出电极分别位于针管和针座，所述柔性线路板封装在针座内。/n
【技术特征摘要】
1.一种集成式全固态pH传感器微探针，其特征在于，包括pH传感器、柔性线路板和医用注射针头，所述医用注射针头包括针管、针尖和针座，所述pH传感器包括感测模块、传输导线和引出电极，所述pH传感器的感测模块通过传输导线和引出电极与柔性线路板连接，所述pH传感器封装在针管内，所述感测模块封装在针尖部位，所述感测模块上边沿处于针尖部位斜切口切平面上，所述传输导线和引出电极分别位于针管和针座，所述柔性线路板封装在针座内。
2.根据权利要求1所述一种集成式全固态pH传感器微探针，其特征在于，所述pH传感器为AlGaN/GaN异质结全固态pH传感器，所述AlGaN/GaN异质结全固态pH传感器的材料结构自下而上包括蓝宝石衬底、GaN缓冲层、非故意掺杂GaN层、AlN层和AlGaN层。
3.根据权利要求2所述一种集成式全固态pH传感器微探针，其特征在于，所述AlGaN/GaN异质结全固态pH传感器上设有源极S、漏极D、参比电极G、开栅区、传输导线和三个引出电极，所述传输导线分别由源极S、漏极D和参比电极G引出，所述三个引出电极分别位于传输导线的三个末端，所述三个引出电极用于焊接柔性线路板。
4.根据权利要求3所述一种集成式全固态pH传感器微探针，其特征在于，所述柔性线路板包括窄部和宽部，所述窄部上设有长0.45mm、宽0.13mm的矩形电极S极、G极和D极，所述宽部上设有1.2mm的正方形电极S极、G极和D极，所述窄部的矩形电极S极、G极和D极与AlGaN/GaN异质结全固态pH传感器的三个引出电极焊接，所述宽部的三个电极用于连接外部设备进行信号分析。
5.根据权利要求4所述一种集成式全固态pH传感器微探针，其特征在于，所述AlGaN/GaN异质结全固态pH传感器的感测模块位于针尖，所述AlGaN/GaN异质结全固态pH传感器感测区域上边沿处于针尖斜切口切平面上，所述AlGaN/GaN异质结全固态pH传感器感测区域的边角部位不会从针尖斜切口切平面凸出。
6.根据权利要求5所述一种集成式全固态...
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