生物传感器的制造方法、生物传感器及生物传感器的应用技术

本发明专利技术公开一种生物传感器的制造方法、生物传感器及生物传感器的应用，涉及生物传感器技术领域。通过对高K材料层表面进行羟基化工艺处理，增加高K材料层表面羟基的数量，进而增加固定探针分子的官能团，实现对待测物的高灵敏度、高特异性检测。所述生物传感器的制造方法包括：提供一具有高K材料层的生物敏感器件，利用羟基化工艺在高K材料层表面进行羟基化处理。所述生物传感器的制造方法应用于制造生物传感器，所述生物传感器应用于生物活性物质的检测。

【技术实现步骤摘要】
生物传感器的制造方法、生物传感器及生物传感器的应用
本专利技术涉及生物传感器
，尤其涉及一种生物传感器的制造方法、生物传感器及生物传感器的应用。
技术介绍
生物传感器是由生物敏感材料作识别元件(包括酶、抗体、抗原、微生物、组织、核酸等生物活性物质)、适当的理化换能器(如氧电极、光敏管、场效应管、压电晶体管等)及信号放大装置构成的分析工具或系统，生物传感器的灵敏度决定了检测的准确性和快速性。场效应管(FieldEffectTransistor，缩写为FET)生物传感器由于其能直接将生物信号转化为电信号而受到广泛关注。在利用场效应管生物传感器进行检测前，需要在场效应管生物传感器表面修饰上被检测目标分子的探针分子。为了满足液体测试环境，避免电流从金属引线直接穿过液体测试环境，需在场效应管生物传感器表面生长一层介质层，此时易修饰生物基团的SiO2材料作为人们最常选用的介质层材料。近年来，为了实现对痕量物质的检测，提高生物传感器的灵敏度，逐渐采用高K材料代替传统的SiO2材料。但是在生化检测过程中，为了实现高灵敏度、高特异性检测，需要对场效本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种生物传感器的制造方法，其特征在于，包括：/n提供一生物敏感器件，所述生物敏感器件具有高K材料层；/n利用羟基化工艺在所述高K材料层表面进行羟基化处理。/n

【技术特征摘要】
1.一种生物传感器的制造方法，其特征在于，包括：
提供一生物敏感器件，所述生物敏感器件具有高K材料层；
利用羟基化工艺在所述高K材料层表面进行羟基化处理。


2.根据权利要求1所述的生物传感器的制造方法，其特征在于，
所述羟基化工艺包括：氧等离子体工艺、臭氧处理工艺和食人鱼洗液浸泡中的至少一种。


3.根据权利要求2所述的生物传感器的制造方法，其特征在于，
所述羟基化工艺为氧等离子体工艺，所述氧等离子体工艺的工艺参数包括：氧气流量为10sccm～200sccm，氧气压力为37.5mTorr～225mTorr，氧等离子体功率为50W～200W。


4.根据权利要求1所述的生物传感器的制造方法，其特征在于，
所述提供一生物敏感器件，所述生物敏感器件具有高K材料层，包括：
提供一基底；所述基底具有生物敏感材料；
在所述生物敏感材料表面形成高K材料层。


5.根据权利要求1所述的生物传感器的制造方法，其特征在于，
所述利用羟基化工艺在所述高K材料层表面进行羟基化处理后，还包括，
在所述高K材料层具有的羟基上接枝功能基团。


6.根据权利要求5所述的生物传感器的制造方法，其特征在于，
所述功能基团为通过硅烷偶联剂偶联在所述高K材料层上的醛基。


7.根据权利要求1-6中任一所述的生物传感器的制造方法，其特征在于，
所述生物敏感材料为硅基材料、碳基材料和二维材料中的至少一种；
所述硅烷偶联剂为3-氨基丙基三乙氧基硅烷、戊二醛中的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张楠，张青竹，张静，张兆浩，魏千惠，屠海令，殷华湘，赵鸿斌，王文武，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11