【技术实现步骤摘要】
一种用于短工作距离检测的定位夹具
本专利技术涉及定位夹具
,具体是一种用于短工作距离检测的定位夹具。
技术介绍
检测对生产制造过程及产品应用是至关重要的一环,决定产品的质量是否满足需求,而采用高精度的检测,缺陷的尺寸为微米级和纳米级时,很多检测方式对检测工具与待检元件表面的距离和角度提出了苛刻的要求。例如采用高倍物镜(50X—100X)时,工作距离一般只有0.5mm—1mm,在这个工作距离下实现元件的稳定装夹的同时,调整元件表面与物镜轴线相垂直就成为一个很难解决的问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种用于短工作距离检测的定位夹具,该定位夹具可以实现短工作距离,并对元件的姿态(俯仰、偏摆)进行精确的定位。本专利技术的技术方案为:一种用于短工作距离检测的定位夹具,包括有母夹具、子夹具、多个锁紧螺钉、多个顶丝、多个元件压块和辅助定位板;所述的母夹具为框架结构,所述的子夹具是由元件定位框和元件限位框组成的双层框架结构,所述的元件定位框和元件限位框的内圈相互重叠,元 ...
【技术保护点】
1.一种用于短工作距离检测的定位夹具,其特征在于:包括有母夹具、子夹具、多个锁紧螺钉、多个顶丝、多个元件压块和辅助定位板;/n所述的母夹具为框架结构,所述的子夹具是由元件定位框和元件限位框组成的双层框架结构,所述的元件定位框和元件限位框的内圈相互重叠,元件定位框外圈位于元件限位框外圈的外周,所述的元件限位框固定连接于元件定位框的前表面上;/n所述的元件限位框上固定有两个元件限位板,两个元件限位板均与元件限位框的框架平行且分别固定于元件限位框内壁的顶端和底端上,每个元件限位板的厚度均小于元件限位框的厚度,两个元件限位板的前表面与元件限位框的前表面位于同一平面,且元件限位框的厚 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于短工作距离检测的定位夹具,其特征在于:包括有母夹具、子夹具、多个锁紧螺钉、多个顶丝、多个元件压块和辅助定位板;
所述的母夹具为框架结构,所述的子夹具是由元件定位框和元件限位框组成的双层框架结构,所述的元件定位框和元件限位框的内圈相互重叠,元件定位框外圈位于元件限位框外圈的外周,所述的元件限位框固定连接于元件定位框的前表面上;
所述的元件限位框上固定有两个元件限位板,两个元件限位板均与元件限位框的框架平行且分别固定于元件限位框内壁的顶端和底端上,每个元件限位板的厚度均小于元件限位框的厚度,两个元件限位板的前表面与元件限位框的前表面位于同一平面,且元件限位框的厚度剪去元件限位板的厚度大于母夹具的厚度;
元件定位框外圈的形状尺寸大于母夹具内圈的形状尺寸,装夹时,所述的元件限位框穿过母夹具的内圈,所述的元件定位框位于母夹具的后方;
所述的多个锁紧螺钉穿过元件定位框的通孔后螺纹连接于母夹具的螺纹孔上,多个顶丝螺纹穿过元件定位框的螺纹孔后抵住母夹具的后表面;
装夹时,元件置于子夹具元件定位框和元件限位框重叠的内圈中且元件的前表面抵住两个元件限位板的后表面,装夹时,所述的多个元件压块压住元件的后表面将元件定位于子夹具中;
所述的辅助定位板的后表面朝向母夹具...
【专利技术属性】
技术研发人员:俞伟洋,江军,陈坚,吴周令,
申请(专利权)人:合肥利弗莫尔仪器科技有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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