十字丝图案单元、分划板及测量逆投影光路放大倍率的方法技术

技术编号:26476421 阅读:58 留言:0更新日期:2020-11-25 19:19
本发明专利技术涉及十字丝图案单元、分划板、测量逆投影光路放大倍率的方法和采用所述的十字丝图案单元建立被测镜头的MTF曲线二维坐标图的方法。它包括设置在十字丝图案单元中部的十字丝图案,在十字丝图案分隔成的四个象限中均设有一个定位点,且相邻两个象限中的定位点的连线均平行于十字丝图案的其中一根线。本发明专利技术由于该十字丝图案单元中设有定位点,方便通过测量定位点的距离来确定测量的共轭光路的放大倍率;该测量放大倍率的方法,能解决在线测量MTF默认同一批次的待测镜头的放大倍率相同带来误差的难题,使得MTF的结果计算可以使用真实的放大率而不是批量预设的放大率数值,提高了测量精度。

【技术实现步骤摘要】
十字丝图案单元、分划板及测量逆投影光路放大倍率的方法
本专利技术涉及光学检测领域,特别为十字丝图案单元、分划板、测量逆投影光路放大倍率的方法和采用所述的十字丝图案单元建立被测镜头的MTF曲线二维坐标图的方法。
技术介绍
使用逆投影的光路,在被测镜头的像面位置放置刻有特定图案的分划板及背光源,在物面位置放置多个图像传感器,经聚焦调整和图像计算而获得被测镜头的多点MTF数据,是目前在线式测量镜头MTF的主要方式。通过对图像传感器获得的图像进行软件分析,可获得光学系统的MTF特性。逆投影测量MTF的光路包括如图1所示的无限距共轭光路、以及如图2所示的有限距共轭光路。用于逆投影光路的分划板,在每个待测量的小区域都至少有一个单元图案,经过光学系统投影到对应的图像传感器。如图3-图5分别列举了三种典型的单元图案,其中图3所示的单元图案采用了十字丝图案。不同的图案需采用不同的算法获得MTF特性。相对于其它两种图案,如图3所示的十字丝图案具有内容简单、更加通用的优点,也存在无法测量共轭光路的放大率的缺点。共轭光路的放大率是把图像经算法计算的结果本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可测量逆投影光路放大倍率的十字丝图案单元,它包括设置在十字丝图案单元中部的十字丝图案(1),其特征在于:在十字丝图案(1)分隔成的四个象限中均设有一个定位点(2),且相邻两个象限中的定位点(2)的连线均平行于十字丝图案(1)的其中一根线。/n

【技术特征摘要】
1.一种可测量逆投影光路放大倍率的十字丝图案单元,它包括设置在十字丝图案单元中部的十字丝图案(1),其特征在于:在十字丝图案(1)分隔成的四个象限中均设有一个定位点(2),且相邻两个象限中的定位点(2)的连线均平行于十字丝图案(1)的其中一根线。


2.一种带有权利要求1所述的十字丝图案单元的分划板,其特征在于:所述分划板(3)上设有一个以上权利要求1所述的十字丝图案单元。


3.一种采用权利要求1所述的十字丝图案单元测量逆投影光路放大倍率的方法,其特征在于:包括以下步骤:
①在被测镜头(4)的像方一侧沿着被测镜头(4)的光轴且相对被测镜头(4)由远而近依次设置光源装置(5)和分划板(3),所述分划板(3)上设有一个以上权利要求1所述的十字丝图案单元;并且在被测镜头(4)的物方一侧设置用于采集分划板(3)上的十字丝图案单元形成的图像信息的图像传感器(6);
②分别测量出分划板(3)上的十字丝图案单元中每相邻两个象限中定位点(2)之间的距离l1、l2、l3、l4;
③分别计算出图像传感器(6)采集到的图像上与对应十字丝图案单元中每相邻两个象限中定位点(2)对应的两个定位点弥散斑(c2)中心之间的距离L1、L2、L3和L4;
④根据公式:βn=Ln/ln(其中n=1、2、3、4),分别求出十字丝图案单元中每相邻两个象限中定位点(2)距离与图像传感器(6)采集到的对应图像中对应的两个定位点弥散斑(c2)距离之间的放大倍率β1、β2、β3和β4。


4.根据权利要求3所述的十字丝图案单元测量逆投影光路放大倍率的方法,其特征在于:所述分划板(3)上设置的十字丝图案单元的数量为多个,所述的图像传感器(6)的数量为多个,其中一个图像传感器(6)布置在位于被测镜头(4)光轴上的中心视场,其余图像传感器(6)围绕被测镜头(4)光轴设置在中心视场的外围视场位置。


5.一种采用权利要求1所述的十字丝图案单元建立被测镜头的MTF曲线二维坐标图的方法,包括以下步骤:
①在被测镜头(4)的像方一侧沿着被测镜头(4)的光轴...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙宏
申请(专利权)人:福州锐景达光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:福建;35

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