一种高速光电二极管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高速光电二极管，包括依次层叠的衬底、N型半导体层、I型半导体层、P型半导体层和钝化层；还包括导光层和抗反射层，导光层的形状为圆台，导光层具有顶表面和底表面，导光层的底表面覆盖在钝化层上，导光层的顶表面面积大于底表面面积，导光层顶表面覆盖有抗反射膜。本实用新型专利技术可以提高光纤耦合效率，增加芯片响应度。

【技术实现步骤摘要】
一种高速光电二极管
本技术涉及半导体器件
，更具体的说，涉及一种具有集成导光层结构的高速光电二极管。
技术介绍
随着通讯技术的发展，光通信技术广泛的应用于人们的日常生活和工作当中，对用于光接收的光电探测器的速率要求也越来越高。为了达到更高的速率，必须降低光电探测器的结电容，也就是减小收光面的直径。目前，25GInGaAs高速探测器的光敏面直径普遍在20um左右，而更高速率的探测器光面直径更小。小光敏面探测器导致耦合效率低，良品率差，直接影响高速光模块产品的成本降低。为了提升高速光电探测器的耦合效率，目前采用衬底背面集成微透镜的技术方案。这一技术方案虽然可以降低耦合难度。但同时也存在明显的弊端，比如增加了工艺复杂程度，良率偏低，并且芯片还需要filp-chip(倒装)工艺，将芯片倒装到载体上才能使用。这些都导致芯片加工成本明显增加。因此，本专利技术人对此做进一步研究，研发出一种具有集成导光层结构的高速光电二极管，本案由此产生。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种高速光电二极管，可以提高光纤耦合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高速光电二极管，包括依次层叠的衬底、N型半导体层、I型半导体层、P型半导体层和钝化层；其特征在于：还包括导光层和抗反射层，导光层的形状为圆台，导光层具有顶表面和底表面，导光层的底表面覆盖在钝化层上，导光层的顶表面面积大于底表面面积，导光层的顶表面覆盖有抗反射层。/n

【技术特征摘要】
1.一种高速光电二极管，包括依次层叠的衬底、N型半导体层、I型半导体层、P型半导体层和钝化层；其特征在于：还包括导光层和抗反射层，导光层的形状为圆台，导光层具有顶表面和底表面，导光层的底表面覆盖在钝化层上，导光层的顶表面面积大于底表面面积，导光层的顶表面覆盖有抗反射层。


2.根据权利要求1所述的一种高速光电二极管，其特征在于：导光层的材料为具有感光性能的有机聚合物，有机聚合物的折射率大于1.4，并且由有机聚合物形...

【专利技术属性】
技术研发人员：张江勇，林志东，
申请(专利权)人：厦门市三安集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35