一种硅片碱液清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片碱液清洗机，包括箱体，所述箱体的两侧设置有多个分液管，两侧的多个所述分液管的底端固定连接有总液管，所述箱体的底端固定连接有驱动箱，所述驱动箱的内部设置有循环泵，所述循环泵的顶端两侧设置有多个吸液管，两侧所述总液管的中心处固定连接有多个喷水管，多个所述喷水管的顶端穿过箱体并向上延伸，多个所述喷水管的延伸处设置有喷头，所述箱体内部底端两侧设置有垫块，所述垫块的顶端设置有硅片篮，所述循环泵的前侧设置有出液管，所述出液管与总液管固定连接。本实用新型专利技术通过设置循环泵，通过循环泵加速箱体内碱液的流动速度，通过快速流动的碱液本身对硅片进行清洗，空气环境对清洗的影响得以避免。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片碱液清洗机
本技术涉及硅片碱液清洗机领域，尤其涉及一种硅片碱液清洗机。
技术介绍
现有的碱液清洗机大多采用风力或者叶轮搅动碱液的方式对硅片进行清洗，清洗的过程中由于叶轮与风机进入的空气可能会对硅片造成污染，导致会环境的要求较高。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片碱液清洗机。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种硅片碱液清洗机，包括箱体，所述箱体的两侧设置有多个分液管，两侧的多个所述分液管的底端固定连接有总液管，所述箱体的底端固定连接有驱动箱，所述驱动箱的内部设置有循环泵，所述循环泵的顶端两侧设置有多个吸液管，两侧所述总液管的中心处固定连接有多个喷水管，多个所述喷水管的顶端穿过箱体并向上延伸，多个所述喷水管的延伸处设置有喷头，所述箱体内部底端两侧设置有垫块，所述垫块的顶端设置有硅片篮，所述循环泵的前侧设置有出液管，所述出液管与总液管固定连接。作为上述技术方案的进一步描述：所述箱体在与多个分液管的对应连接处设置有通孔。作为上述技术方案的进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片碱液清洗机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的两侧设置有多个分液管(2)，两侧的多个所述分液管(2)的底端固定连接有总液管(5)，所述箱体(1)的底端固定连接有驱动箱(10)，所述驱动箱(10)的内部设置有循环泵(6)，所述循环泵(6)的顶端两侧设置有多个吸液管(4)，两侧所述总液管(5)的中心处固定连接有多个喷水管(7)，多个所述喷水管(7)的顶端穿过箱体(1)并向上延伸，多个所述喷水管(7)的延伸处设置有喷头，所述箱体(1)内部底端两侧设置有垫块(3)，所述垫块(3)的顶端设置有硅片篮(9)，所述循环泵(6)的前侧设置有出液管(8)，所述出液管(8)与总液管(5)固定...

【技术特征摘要】
1.一种硅片碱液清洗机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的两侧设置有多个分液管(2)，两侧的多个所述分液管(2)的底端固定连接有总液管(5)，所述箱体(1)的底端固定连接有驱动箱(10)，所述驱动箱(10)的内部设置有循环泵(6)，所述循环泵(6)的顶端两侧设置有多个吸液管(4)，两侧所述总液管(5)的中心处固定连接有多个喷水管(7)，多个所述喷水管(7)的顶端穿过箱体(1)并向上延伸，多个所述喷水管(7)的延伸处设置有喷头，所述箱体(1)内部底端两侧设置有垫块(3)，所述垫块(3)的顶端设置有硅片篮(9)，所述循环泵(6)的前侧设置有出液管(8)，所述出液管(8)与总液管(5)固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种硅片碱液清洗机，其特征在于：所述箱体(1)在与多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，戴磊，王波波，吴斌华，夏康，蓝希旺，
申请(专利权)人：中赣新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36