硅片清洗装置制造方法及图纸

本申请提供了一种硅片清洗装置，包括用以进行硅片清洗的清洗槽、若干储液箱、连接所述储液箱与清洗槽的输液管，若干所述储液箱分别用以存储不同的清洗药剂，至少部分所述储液箱内设置有搅拌器，且连接不同所述储液箱的输液管相互独立设置；所述硅片清洗装置还包括设置在所述输液管上的液泵、控制阀与流量计。本申请硅片清洗装置能够对金刚线切割后的硅片进行有效清洗，提升硅片清洗制程的稳定性，降低脏污片比例，且能减少清洗药剂的浪费，实现生产精益化；还能减少现场人员工作量，降低安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
硅片清洗装置
本申请涉及光伏生产设备领域，特别涉及一种硅片清洗装置。
技术介绍
晶体硅太阳能电池现阶段仍占据光伏市场的重要地位，硅片的加工质量会直接影响后续电池片及光伏组件的转换效率。目前，采用金刚线切割后的硅片表面会残存大量的硅粉、有机物、金属离子等杂质，若在清洗环节处理不干净，将对后续电池片制程造成很大的负面影响，导致电池片的转换效率大幅降低。因此，硅片的清洗对晶体硅太阳能电池性能显得尤为重要。现有硅片清洗工艺主要包括预清洗、药剂清洗、漂洗、烘干等步骤，其中，药剂清洗是决定硅片清洗效果的最关键步骤。具体地，药剂清洗需要采用硅片专用清洗剂、双氧水、氢氧化钾等化学药剂，上述化学药剂的添加需要分段进行，即需根据硅片的清洗数量进行补液。很多厂家目前仍直接采用手动模式进行上述化学药剂的添加，药剂的添加量和添加时间难以精确控制，影响清洗效果，还容易发生药剂喷溅，存有安全隐患。更重要地，手动添加模式相对间隔时间较长，药剂浓度随着硅片清洗数量的增加而逐步降低，导致硅片清洗效果变化较大，即容易出现部分硅片表面杂质残留较多，影响后续电池片的质量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗装置，包括用以进行硅片清洗的清洗槽，其特征在于：所述硅片清洗装置还包括若干储液箱、连接所述储液箱与清洗槽的输液管，若干所述储液箱分别用以存储不同的清洗药剂，至少部分所述储液箱内设置有搅拌器，且连接不同所述储液箱的输液管相互独立设置；所述硅片清洗装置还包括设置在所述输液管上的液泵、控制阀与流量计。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗装置，包括用以进行硅片清洗的清洗槽，其特征在于：所述硅片清洗装置还包括若干储液箱、连接所述储液箱与清洗槽的输液管，若干所述储液箱分别用以存储不同的清洗药剂，至少部分所述储液箱内设置有搅拌器，且连接不同所述储液箱的输液管相互独立设置；所述硅片清洗装置还包括设置在所述输液管上的液泵、控制阀与流量计。


2.根据权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述储液箱内还设有连接在所述输液管末端的过滤器。


3.根据权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述输液管的内径设置为5～10mm。


4.根据权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述储液箱的容积设置为250～300L，且所述储液箱设有液位检测机构。


5.根据权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述储液箱远离所述输液管的一侧设有注液口。


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【专利技术属性】
技术研发人员：郭庆红，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯光伏电力洛阳有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32