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本申请提供了一种硅片清洗装置，包括用以进行硅片清洗的清洗槽、若干储液箱、连接所述储液箱与清洗槽的输液管，若干所述储液箱分别用以存储不同的清洗药剂，至少部分所述储液箱内设置有搅拌器，且连接不同所述储液箱的输液管相互独立设置；所述硅片清洗装置还...该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司授权不得商用。