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一种硅片碱液清洗机制造技术
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文档序号:26442523
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本实用新型公开了一种硅片碱液清洗机,包括箱体,所述箱体的两侧设置有多个分液管,两侧的多个所述分液管的底端固定连接有总液管,所述箱体的底端固定连接有驱动箱,所述驱动箱的内部设置有循环泵,所述循环泵的顶端两侧设置有多个吸液管,两侧所述总液管的中...
该专利属于中赣新能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中赣新能源股份有限公司授权不得商用。
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