一种晶圆用一体式清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆用一体式清洗设备，包括圆柱形槽体，圆柱形槽体均匀分成3个半扇形细分槽体，细分槽体包括硫酸清洗槽体，氢氟酸清洗槽体以及去离子水冲洗槽体，圆柱形槽体中间设有升降气缸，升降气缸的输出轴上设有固定板，固定板上设有伺服电机，伺服电机的输出轴上连接有晶圆搬运结构，晶圆搬运结构上放置有晶圆放置架，晶圆放置架上排列有多个晶圆，晶圆搬运结构包括设置在伺服电机输出轴上的承载板，对称且横向设置在承载板上的横向支臂，竖直连接在横向支臂下方的下支臂以及设置在下支臂末端的托板。三种槽体呈环形布置，相比流水线形式，节省空间，而且搬运臂运行距离短，时间少，效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆用一体式清洗设备
本技术涉及一种晶圆用一体式清洗设备。
技术介绍
晶圆在刻蚀完之后会首先通过硫酸清洗，去离子水冲洗，再进行氢氟酸清洗，最后进行去离子水冲洗，传统的做法是流水线操作，各个槽体排列，通过机械臂搬运，其站空间较大，机械臂运行距离远，时间长。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆用一体式清洗设备。本技术技术方案如下：一种晶圆用一体式清洗设备，包括圆柱形槽体，所述圆柱形槽体均匀分成3个半扇形细分槽体，所述细分槽体包括硫酸清洗槽体，氢氟酸清洗槽体以及去离子水冲洗槽体，所述圆柱形槽体中间设有升降气缸，所述升降气缸的输出轴上设有固定板，所述固定板上设有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上连接有晶圆搬运结构，所述晶圆搬运结构上放置有晶圆放置架，所述晶圆放置架上排列有多个晶圆，所述晶圆搬运结构包括设置在伺服电机输出轴上的承载板，对称且横向设置在承载板上的横向支臂，竖直连接在横向支臂下方的下支臂以及设置在下支臂末端的托板。具体地：所述硫酸清洗槽体，氢氟酸清洗槽体以及去离子水冲洗槽体内均设有进液口和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆用一体式清洗设备，其特征在于：包括圆柱形槽体，所述圆柱形槽体均匀分成3个半扇形细分槽体，所述细分槽体包括硫酸清洗槽体，氢氟酸清洗槽体以及去离子水冲洗槽体，所述圆柱形槽体中间设有升降气缸，所述升降气缸的输出轴上设有固定板，所述固定板上设有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上连接有晶圆搬运结构，所述晶圆搬运结构上放置有晶圆放置架，所述晶圆放置架上排列有多个晶圆，所述晶圆搬运结构包括设置在伺服电机输出轴上的承载板，对称且横向设置在承载板上的横向支臂，竖直连接在横向支臂下方的下支臂以及设置在下支臂末端的托板。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆用一体式清洗设备，其特征在于：包括圆柱形槽体，所述圆柱形槽体均匀分成3个半扇形细分槽体，所述细分槽体包括硫酸清洗槽体，氢氟酸清洗槽体以及去离子水冲洗槽体，所述圆柱形槽体中间设有升降气缸，所述升降气缸的输出轴上设有固定板，所述固定板上设有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上连接有晶圆搬运结构，所述晶圆搬运结构上放置有晶圆放置架，...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏剑宏，
申请(专利权)人：苏州昂科微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32