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本实用新型公开了一种晶圆用一体式清洗设备，包括圆柱形槽体，圆柱形槽体均匀分成3个半扇形细分槽体，细分槽体包括硫酸清洗槽体，氢氟酸清洗槽体以及去离子水冲洗槽体，圆柱形槽体中间设有升降气缸，升降气缸的输出轴上设有固定板，固定板上设有伺服电机，伺...
该专利属于苏州昂科微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州昂科微电子技术有限公司授权不得商用。

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