一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩，包括圆形顶板，圆形顶板外圈向下延伸有环形外罩，圆形顶板的圆心与外圈连线的中点处连接有雾状喷嘴，雾状喷嘴有4个且呈环形均匀分布，圆心顶板的圆心与雾状喷嘴之间设有第一直流喷嘴，第一直流喷嘴倾斜设置且其柱状水流经过下方的晶圆的圆心，环形外罩内侧均匀设有多个第二直流喷嘴，第二直流喷嘴内喷出的柱状水流经过晶圆的外侧边，圆形顶板上表面的圆心处与电机的输出轴连接，电机的底部通过固定板与升降气缸的输出轴连接。增加了第一直流喷嘴，倾斜冲洗圆心处，不会造成去离子水堆积，采用多个喷嘴统一布置在喷淋罩上，维护简便。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩
本技术涉及一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩。
技术介绍
单晶圆清洗时常在上方和侧边通过单独的喷嘴清洗，而且喷嘴基本都是固定的，晶圆放置在旋转平台上旋转清洗，加快旋转的速度能能提交清洗的均匀度，但是晶圆不能旋转过快，容易破裂，而且晶圆圆心处的没有离心力，去离子水落在圆心无法甩出去，导致清洗不彻底，晶圆圆心处与周围高度不一，影响晶圆的良率；多个喷嘴设置在晶圆上方以及侧边，管路复杂，不便于维护。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩。本技术技术方案如下：一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩，包括圆形顶板，所述圆形顶板外圈向下延伸有环形外罩，所述圆形顶板的圆心与外圈连线的中点处连接有雾状喷嘴，所述雾状喷嘴有4个且呈环形均匀分布，所述圆心顶板的圆心与雾状喷嘴之间设有第一直流喷嘴，所述第一直流喷嘴倾斜设置且其柱状水流经过下方的晶圆的圆心，所述环形外罩内侧均匀设有多个第二直流喷嘴，所述第二直流喷嘴内喷出的柱状水流经过晶圆的外侧边，所述圆形顶板上表面的圆心处与电机的输出轴连接，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩，其特征在于：包括圆形顶板，所述圆形顶板外圈向下延伸有环形外罩，所述圆形顶板的圆心与外圈连线的中点处连接有雾状喷嘴，所述雾状喷嘴有4个且呈环形均匀分布，所述圆形顶板的圆心与雾状喷嘴之间设有第一直流喷嘴，所述第一直流喷嘴倾斜设置且其柱状水流经过下方的晶圆的圆心，所述环形外罩内侧均匀设有多个第二直流喷嘴，所述第二直流喷嘴内喷出的柱状水流经过晶圆的外侧边，所述圆形顶板上表面的圆心处与电机的输出轴连接，所述电机的底部通过固定板与升降气缸的输出轴连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩，其特征在于：包括圆形顶板，所述圆形顶板外圈向下延伸有环形外罩，所述圆形顶板的圆心与外圈连线的中点处连接有雾状喷嘴，所述雾状喷嘴有4个且呈环形均匀分布，所述圆形顶板的圆心与雾状喷嘴之间设有第一直流喷嘴，所述第一直流喷嘴倾斜设置且其柱状水流经过下方的晶圆的圆心，所述环形外罩内侧均...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏剑宏，
申请(专利权)人：苏州昂科微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32