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本实用新型公开了一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩，包括圆形顶板，圆形顶板外圈向下延伸有环形外罩，圆形顶板的圆心与外圈连线的中点处连接有雾状喷嘴，雾状喷嘴有4个且呈环形均匀分布，圆心顶板的圆心与雾状喷嘴之间设有第一直流喷嘴，第一直流喷嘴倾斜设置且...
该专利属于苏州昂科微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州昂科微电子技术有限公司授权不得商用。

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