上电极装置制造方法及图纸

一种上电极装置，包含形成有多个上下贯通的贯孔的电极板、多个分别设置在所述贯孔中陶瓷管，以及覆盖于所述电极板底侧的保护层。每一陶瓷管包括上下相反的顶环面与底环面，以及连接于所述顶环面及所述底环面间且内外间隔的内管面与外管面。每一底环面包括呈环形且由对应的所述外管面径向往内延伸的第一环面部，以及呈环形且由所述第一环面部径向往内并朝上延伸连接对应的所述内管面的第二环面部。每一陶瓷管连接所述内管面的所述第二环面部具有不易损坏的特点，且不会有损坏剥落污染制程的问题。

【技术实现步骤摘要】
上电极装置
本技术涉及一种干蚀刻设备所包含的电极装置，特别是涉及一种用于电浆蚀刻的上电极装置。
技术介绍
参阅图1至3，一种现有的上电极装置，适用于进行干蚀刻并适用于架设在一反应腔体11上，且适用于设置在一下电极12上方。所述上电极装置包含一电极板13、多个塞装于所述电极板13中的陶瓷管14，以及一层披覆在所述电极板13底侧的保护层15。所述电极板13包括上下相反的一顶表面131与一底表面132，以及多个由所述顶表面131延伸至所述底表面132的贯孔133。每一贯孔133供各自的一个陶瓷管14插设塞装在其中。每一陶瓷管14紧迫所述电极板13地塞装在所述电极板13中，并包括上下相反的一顶环面141与一底环面142，以及上下延伸连接于所述顶环面141与所述底环面142间并呈圆柱状且内外间隔的一个内管面143与一个抵接所述电极板13的外管面144。此种现有的上电极装置经久使用后，每一陶瓷管14的所述内管面143与对应的所述底环面142的连接部位往往容易被侵蚀损坏，而如图3所示地产生细微的剥落物并污染制程，有待进一步改善本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种上电极装置，包含形成有多个上下贯通的贯孔的电极板、多个分别设置在所述贯孔中的陶瓷管，以及覆盖所述电极板底侧的保护层，每一陶瓷管包括上下相反的顶环面与底环面，以及连接于所述顶环面及所述底环面间且内外间隔的内管面与外管面，其特征在于：每一陶瓷管的所述底环面包括呈环形且由所述外管面径向往内延伸的第一环面部，以及呈环形且由所述第一环面部径向往内并朝上延伸连接所述内管面的第二环面部。/n

【技术特征摘要】
20200422 TW 1092047831.一种上电极装置，包含形成有多个上下贯通的贯孔的电极板、多个分别设置在所述贯孔中的陶瓷管，以及覆盖所述电极板底侧的保护层，每一陶瓷管包括上下相反的顶环面与底环面，以及连接于所述顶环面及所述底环面间且内外间隔的内管面与外管面，其特征在于：每一陶瓷管的所述底环面包括呈环形且由所述外管面径向往内延伸的第一环面部，以及呈环形且由所述第一环面部径向往内并朝上延伸连接所述内管面的第二环面部。


2.根据权利要求1所述的上电极装置，其特征在于：每一第二环面部由对应的所述第一环面部径向往内并朝上倾斜延伸连接对应的所述内管面。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹耀辉，林坤道，林祺勋，
申请(专利权)人：周业投资股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71