上电极装置制造方法及图纸

一种上电极装置，包含电极板、数个陶瓷管以及保护层。所述电极板包括上下相反的顶表面与底表面，以及多个连接于所述顶表面与所述底表面间且分别界定岀数个贯孔的内周面。所述陶瓷管分别设置在所述贯孔中，且每一陶瓷管包括上下相反的顶环面与底环面，以及连接于所述顶环面及所述底环面间的外管面。每一外管面与所述电极板各自的内周面相配合界定出位于所述内周面与所述外管面间的交界区。所述保护层覆盖所述电极板的底表面与所述交界区的底端。由于所述保护层覆盖所述交界区，故能有效避免电浆及腐蚀气体自所述交界区进入而侵蚀所述电极板。

【技术实现步骤摘要】
上电极装置
本技术涉及一种干蚀刻设备所包含的装置，特别是涉及一种用于电浆蚀刻的上电极装置。
技术介绍
参阅图1至3，一种现有的上电极装置，适用于进行干蚀刻并适用于架设在一反应腔体11上，且适用于设置在一下电极12上方。所述上电极装置包含一电极板13、多个塞装于所述电极板13中的陶瓷管14，以及一层披覆在所述电极板13底侧的保护层15。所述电极板13包括上下相反的一顶表面131与一底表面132，以及多个由所述顶表面131延伸至所述底表面132的贯孔133。每一贯孔133供各自的一个陶瓷管14插设塞装在其中。每一陶瓷管14紧迫所述电极板13地塞装在所述电极板13中，并包括上下相反的一顶环面141与一底环面142，以及上下延伸连接于所述顶环面141与所述底环面142间并呈圆柱状且内外间隔的一个内管面143与一个抵接所述电极板13的外管面144。每一外管面144与所述电极板13及所述保护层15相配合界定出一交界区145。所述保护层15通过陶瓷材料熔射于所述电极板13的所述底表面132而形成，除了覆盖于所述底表面132外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种上电极装置，包含形成有数个贯孔的电极板、多个分别设置在所述贯孔中的陶瓷管，以及覆盖所述电极板底侧的保护层，所述电极板包括上下相反的顶表面与底表面，以及多个连接于所述顶表面与所述底表面间且分别界定岀所述贯孔的内周面，每一陶瓷管包括上下相反的顶环面与底环面，以及连接于所述顶环面及所述底环面间的外管面，每一外管面与所述电极板对应的所述内周面相配合界定出位于所述内周面与所述外管面间的交界区，其特征在于：所述保护层覆盖所述电极板的底表面与所述交界区的底端。/n

【技术特征摘要】
20200422 TW 1092047821.一种上电极装置，包含形成有数个贯孔的电极板、多个分别设置在所述贯孔中的陶瓷管，以及覆盖所述电极板底侧的保护层，所述电极板包括上下相反的顶表面与底表面，以及多个连接于所述顶表面与所述底表面间且分别界定岀所述贯孔的内周面，每一陶瓷管包括上下相反的顶环面与底环面，以及连接于所述顶环面及所述底环面间的外管面，每一外管面与所述电极板对应的所述内周面相配合界定出位于所述内周面与所述外管面间的交界区，其特征在于：所述保护层覆盖所述电极板的底表面与所述交界区的底端。


2.根据权利要求1所述的上电极装置，其特征在于：所述上电极装置还包含数个黏接层，每一黏接层位于各自的所述交界区中，并黏接于对应的所述陶瓷管的外管面与所述电极板对应的所述内周面间，所述保护层还覆盖每一黏接层的底端。


3.根据权利要求1所述的上电极装置，其特征在于：每一陶瓷管以对应的所述外管面紧抵所述电极板对应的所述内周面的方式紧配合地插设于对应的所述贯孔中。


4.根据权利要求1所述的上电极装置，其特征在于：所述电极板还包括多个分别由所述内周面径向往内...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹耀辉，林坤道，林祺勋，
申请(专利权)人：周业投资股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71