【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于功率发生器的自适应控制相关申请交叉引用本申请要求2019年3月11日提交的美国专利申请第16/297,799号的优先权，并还要求2018年6月26日提交的美国临时申请第62/690,202号的权益。以上引用的申请的全部公开通过引用并入本文。
本公开涉及用于驱动非线性负载的系统中的功率产生和对功率产生的控制。
技术介绍
本文提供的背景描述为了总体上呈现本公开的背景的目的。在此
技术介绍
部分中描述的工作的范围内的当前署名的专利技术人的工作，以及在提交时可能不构成现有技术的描述的各方面，并非明确或隐含地被承认是针对本公开的现有技术。等离子体蚀刻经常用于半导体制造。在等离子体蚀刻中，离子被电场加速以蚀刻衬底上的暴露表面。在一个基本实现方式中，基于由功率递送系统的相应射频(RF)或直流(DC)发生器产生的RF或DC功率信号来产生电场。由发生器产生的功率信号必须被精确控制，以有效地执行等离子体蚀刻。
技术实现思路
一种功率发生器包括功率放大器。功率放大器根据输入控制信号产生被传送至非线性负载...
【技术保护点】
1.一种功率发生器，包括：/n自适应控制器，所述自适应控制器基于用于产生功率信号的所述功率发生器的输入设定值、所述功率信号的测量表示和所述功率信号的模型表示来产生控制信号，其中所述控制信号包括反馈分量和前馈分量；以及/n功率放大器，所述功率放大器根据所述控制信号产生被传送至非线性负载的所述功率信号。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180626 US 62/690,202;20190311 US 16/297,7991.一种功率发生器，包括：
自适应控制器，所述自适应控制器基于用于产生功率信号的所述功率发生器的输入设定值、所述功率信号的测量表示和所述功率信号的模型表示来产生控制信号，其中所述控制信号包括反馈分量和前馈分量；以及
功率放大器，所述功率放大器根据所述控制信号产生被传送至非线性负载的所述功率信号。
2.根据权利要求1所述的功率发生器，其中所述自适应控制器包括：
前馈电路，所述前馈电路基于所述输入设定值以及所述功率信号的所述测量表示与所述功率信号的所述模型表示之间的差来产生所述前馈分量；以及
反馈电路，所述反馈电路基于所述功率信号的所述测量表示与所述功率信号的所述模型表示之间的差来产生所述反馈分量。
3.根据权利要求1所述的功率发生器，进一步包括自适应速率控制器，所述自适应速率控制器基于所述输入设定值、所述功率信号的所述测量表示以及所述控制信号来确定所述功率信号的所述测量表示。
4.根据权利要求1所述的功率发生器，进一步包括自适应速率控制器，所述自适应速率控制器基于所述输入设定值、所述功率信号的所述测量表示以及所述控制信号中的至少一个产生输出，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，其中所述自适应控制器基于所述功率信号的自适应缩放后的测量表示来产生所述控制信号。
5.根据权利要求1所述的功率发生器，进一步包括自适应速率控制器，所述自适应速率控制器产生输出，以基于通过相位、频率以及相位和频率两者中的至少一个进行的换向而自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示。
6.一种包括权利要求1所述的功率发生器的系统，进一步包括自适应速率控制器，所述自适应速率控制器包括：
直接数字合成器，所述直接数字合成器基于第二控制信号产生正弦信号和余弦信号；
第一混合器，第一混合器混合所述正弦信号和所述功率信号的数字表示，并产生所述功率信号的所述数字表示的实部分量；
第二混合器，所述第二混合器混合所述余弦信号和所述功率信号的所述数字表示，并产生所述功率信号的所述数字表示的虚部分量；以及
子系统控制器，所述子系统控制器基于所述实部分量和所述虚部分量、所述功率发生器的所述输入设定值以及用于控制所述功率信号的参数来产生所述第二控制信号。
7.根据权利要求6所述的系统，其中所述子系统控制器产生输出，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，并且其中所述功率信号的自适应缩放后的测量表示被用于产生用于控制所述功率信号的所述参数。
8.根据权利要求6所述的系统，进一步包括缩放电路，所述缩放电路自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，其中所述功率信号的自适应缩放后的测量表示被用于产生用于控制所述功率信号的所述参数。
9.根据权利要求6所述的系统，其中所述子系统控制器产生输出信号，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，所述系统进一步包括：
处理器，所述处理器处理所述功率信号的所述数字表示，并产生多个实部分量和虚部分量；以及
换向器，所述换向器基于所述输出信号在所述多个实部分量和虚部分量之间选择性地切换，来输出缩放因子，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示。
10.根据权利要求6所述的系统，其中所述子系统控制器产生输出信号，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，所述系统进一步包括：
处理器，所述处理器处理所述功率信号的所述数字表示，产生多个实部分量和虚部分量，并通过将一对所述实部分量和所述虚部分量与复数值进行合并来产生合成值；以及
换向器，所述换向器基于所述输出信号，在所述合成值与所述多个实部分量和虚部分量之间选择性地切换来输出缩放因子，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示。
11.一种自适应控制器，包括：
前馈电路，所述前馈电路基于用于产生功率信号的功率发生器的输入设定值并基于所述功率信号的测量表示与所述功率信号的模型表示之间的差来产生前馈信号；
反馈电路，所述反馈电路基于所述功率信号的所述测量表示与所述功率信号的所述模型表示之间的所述差产生反馈信号；以及
合并器，所述合并器通过合并所述前馈信号和所述反馈信号产生控制信号，其中所述控制信号使所述功率发生器能够产生被传送至非线性负载的所述功率信号。
12.一种包括权利要求11所述的自适应控制器的系统，进一步包括自适应速率控制器，所述自适应速率控制器基于所述输入设定值、所述功率信号的所述测量表示以及所述控制信号来确定所述功率信号的所述测量表示。
13.一种包括权利要求11所述的自适应控制器的系统，进一步包括自适应速率控制器，所述自适应速率控制器基于所述输入设定值、所述功率信号的所述测量表示以及所述控制信号中的至少一个产生输出，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，其中所述自适应控制器基于所述功率信号的自适应缩放后的测量表示来产生所述控制信号。
14.一种包括权利要求11所述的自适应控制器的系统，进一步包括自适应速率控制器，所述自适应速率控制器产生输出，以基于通过相位、频率以及相位和频率两者中的至少一个进行的换向而自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示。
15.一种包括权利要求11所述的自适应控制器的系统，进一步包括功率放大器，所述功率放大器根据所述控制信号产生所述功率信号。
16.一种包括权利要求11所述的自适应控制器的系统，进一步包括自适应速率控制器，所述自适应速率控制器包括：
直接数字合成器，所述直接数字合成器基于第二控制信号产生正弦信号和余弦信号；
第一混合器，所述第一混合器混合所述正弦信号和所述功率信号的数字表示，并产生所述功率信号的所述数字表示的实部分量；
第二混合器，所述第二混合器混合所述余弦信号和所述功率信号的所述数字表示，并产生所述功率信号的所述数字表示的虚部分量；以及
子系统控制器，所述子系统控制器基于所述实部分量和所述虚部分量、所述输入设定值以及用于控制所述功率信号的参数来产生所述第二控制信号。
17.根据权利要求16所述的系统，其中所述子系统控制器产生输出，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，并且其中所述功率信号的自适应缩放后的测量表示被用于产生用于控制所述功率信号的所述参数。
18.根据权利要求16所述的系统，进一步包括缩放电路，所述缩放电路自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，其中所述功率信号的自适应缩放后的测量表示被用于产生用于控制所述功率信号的所述参数。
19.根据权利要求16所述的系统，其中所述子系统控制器产生输出信号，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，所述系统进一步包括：
处理器，所述处理器处理所述功率信号的所述数字表示并产生多个实部分量和虚部分量；以及
换向器，所述换向器基于所述输出信号在所述多个实部分量和虚部分量之间选择性地切换来输出缩放因子，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示。
20.根据权利要求16所述的系统，其中所述子系统控制器产生输出信号，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示，所述系统进一步包括：
处理器，所述处理器处理所述功率信号的所述数字表示，产生多个实部分量和虚部分量，并通过将一对所述实部分量和虚部分量与复数值进行合并来产生合成值；以及
换向器，所述换向器基于所述输出信号，在所述合成值与所述多个实部分量和虚部分量之间选择性地切换来输出缩放因子，以自适应地缩放所述功率信号的所述测量表示。
21.一种自适应速率控制器，包括：
直接数字合成器，所述直接数字合成器基于控制信号产生正弦信号和余弦信号；
第一混合器，所述第一混合器混合所述正弦信号和由功率发生器产生的功率信号的数字表示，并产生所述功率信号的所述数字表示的实部分量；
第二混合器，所述第二混合器混合所述余弦信号和所述功率信号的所述数字表示，并产生所述功率信号的所述数字表示的虚部分量；以及
子系统控制器，所述子系统控制器基于所述实部分量和所述虚部分量、用于产生所述功率信号的所述功率发生器的输入设定值以...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴维·J·库莫，Y·埃尔纳，昂·托埃，丹尼尔·M·吉尔，埃尔德里奇·M·芒特，肖恩·史密斯，
申请(专利权)人：MKS仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。