高吸收热电堆及其制作方法技术

一种高吸收热电堆及其制作方法，所述热电堆包括红外吸收层；其中，所述红外吸收层包括旋涂碳材质。本发明专利技术首次将旋涂碳材质应用到热电堆作为红外吸收层材料，利用该旋涂碳材质增强红外吸收层的吸光效果，提高热电堆的红外吸收性能。

【技术实现步骤摘要】
高吸收热电堆及其制作方法
本专利技术涉及红外探测器
，尤其涉及一种高吸收热电堆及其制作方法。
技术介绍
目前红外探测器广泛应用于民用和军用领域，而热电堆红外探测器是众多类型红外探测器中最早发展的一种。由于其具有可以常温下工作、响应波段宽、制作成本低廉等优势，因此发展极为迅速，应用非常广泛。在热电堆红外探测器的工艺制备中，将其制造工艺与集成电路工艺相兼容是使其形成大规模探测阵列，提高探测响应率，并降低工艺制作成本的主要办法。热电堆的制作工艺中，其吸收层的设计很关键，主要体现在结构设计和材料选择两方面。一方面需要对红外辐射具有较大的吸收率，另一方面是其制作工艺需要与CMOS(complementarymetaloxidesemiconductor，互补金属氧化物半导体)工艺相兼容。目前研究较多的红外吸收层材料主要有“黑色”物质(金黑、银黑等)、硅化物(SiN、SiC等)等，它们具有以下特征：金属黑对红外辐射的吸收率很高，但是他们的制作工艺复杂且与CMOS不兼容；硅基复合膜(SiN、SiC等)在较长波长范围内对光具有一定的吸收，但是吸光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热电堆，其特征在于，所述热电堆包括红外吸收层；/n其中，所述红外吸收层包括旋涂碳材质。/n

【技术特征摘要】
1.一种热电堆，其特征在于，所述热电堆包括红外吸收层；
其中，所述红外吸收层包括旋涂碳材质。


2.如权利要求1所述的热电堆，其特征在于，包括：
红外吸收层，为复合叠层；所述红外吸收层包括：
中红外吸收层；
近红外吸收层，形成于所述中红外吸收层上；其中，所述近红外吸收层包括旋涂碳材质。


3.如权利要求1或2所述的热电堆，其特征在于，所述红外吸收层包括多个纳米凸起。


4.如权利要求3所述的热电堆，其特征在于，所述纳米凸起包括纳米线、纳米柱或者纳米椎。


5.如权利要求2所述的热电堆，其特征在于，所述中红外吸收层的材质包括氮化硅、碳化硅或者多晶硅材料。


6.如权利要求1所述的热电堆，其特征在于，所述热电堆在红外吸收层的下方由上至下还依次包括热电偶、支撑层和衬底；其中，所述热电堆还设置背腔；所述背腔由衬底背面释放形成。


7.一种热电堆的制作方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：周娜，毛海央，李俊杰，高建峰，杨涛，李俊峰，王文武，陈大鹏，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11