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高吸收热电堆及其制作方法技术
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文档序号:26423346
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一种高吸收热电堆及其制作方法,所述热电堆包括红外吸收层;其中,所述红外吸收层包括旋涂碳材质。本发明首次将旋涂碳材质应用到热电堆作为红外吸收层材料,利用该旋涂碳材质增强红外吸收层的吸光效果,提高热电堆的红外吸收性能。...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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