一种四甲基氢氧化铵的绿色制备方法技术

公开了一种四甲基氢氧化铵的制备方法，所述方法采用双室单膜电解槽，所述电解槽以二氧化钌钛基板作为阳极，以不锈钢为阴极，槽体为聚四氟乙烯材质，以全氟羧酸/磺酸复合离子膜作为阳离子交换膜；对电解槽中的电解液进行恒电流电解。其不仅较高的电流效率，同时具有较高的产品纯度，能够充分满足电子工业领域清洗和腐蚀的需要。

【技术实现步骤摘要】
一种四甲基氢氧化铵的绿色制备方法
本专利技术属于电化学
，尤其是电解化学
；涉及一种四甲基氢氧化铵的绿色制备方法。
技术介绍
四甲基氢氧化铵，又称氢氧化四甲基铵，结构式为(CH3)4NOH，英文名称为tetramethylammoniumhydroxide(简称TMAH)，是最强的有机碱之一，其碱性与无机碱NaOH和KOH类似。作为市场上的四甲基氢氧化铵产品，主要分为工业级和电子级两大类。电子级四甲基氢氧化铵是四甲基氢氧化铵与水的无色透明混合液。典型地，四甲基氢氧化铵配成10％(wt％)和25％(wt％)的水溶液。经东洋化学株式会社测定，15％(wt％)水溶液的比重为1.011，室温下粘度为1.35cp。按照目前国际上通过认证的规格，至少要求水溶液中金属离子浓度小于10ppb。电子级四甲基氢氧化铵在电子工业中起着举足轻重的作用，不仅用作太阳能单晶硅的刻蚀液和清洗剂，也被用作半导体电路的光刻显影液以及液晶显示屏的正胶显影液。根据文献报道，2019年，我国电子级四甲基氢氧化铵的需求量在9万吨左右。相对于传统的无机碱，四甲本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种四甲基氢氧化铵的制备方法，所述方法采用双室单膜电解槽，所述电解槽以二氧化钌钛基板作为阳极，以不锈钢为阴极，槽体为聚四氟乙烯材质，以全氟羧酸/磺酸复合离子膜作为阳离子交换膜；所述阳离子交换膜将电解槽隔离为阳极室和阴极室；所述阳极室装有四甲基碳酸氢铵去离子水溶液；所述阴极室装有四甲基氢氧化铵去离子水溶液；阴极室和阳极室的温度进行精准控制；对电解槽中的电解液进行恒电流电解。/n

【技术特征摘要】
1.一种四甲基氢氧化铵的制备方法，所述方法采用双室单膜电解槽，所述电解槽以二氧化钌钛基板作为阳极，以不锈钢为阴极，槽体为聚四氟乙烯材质，以全氟羧酸/磺酸复合离子膜作为阳离子交换膜；所述阳离子交换膜将电解槽隔离为阳极室和阴极室；所述阳极室装有四甲基碳酸氢铵去离子水溶液；所述阴极室装有四甲基氢氧化铵去离子水溶液；阴极室和阳极室的温度进行精准控制；对电解槽中的电解液进行恒电流电解。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述二氧化钌钛基板由以下方法制备：
(1)将去除氧化层的钛基板浸入聚苯乙烯纳米球悬浮液中，采用提拉法镀上一层聚苯乙烯纳米球膜，自然干燥；再将其浸入TiO2纳米球溶胶中，采用提拉法镀上一层TiO2纳米球溶胶膜；得到镀有单层复合膜的钛基板；
(2)将镀有单层复合膜的钛基板充分干燥；
(3)重复上述步骤(1)和(2)，获得镀有多层复合膜的钛基板；
(4)以镀有多层复合膜的钛基板作为阴极，以相同大小去除氧化层的钛基板作为阳极，将二者浸入电沉积液中，间距为2.0cm，进行横流电沉积，得到沉积二氧化钌的镀有多层复合膜的钛基板；
(5)将沉积二氧化钌的镀有多层复合膜的钛基板焙...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘颂军，孙炜，孟鹏，
申请(专利权)人：沧州信联化工有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13