【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备
本技术涉及集成电路
,尤其涉及一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备。
技术介绍
集成电路自问世以来发展迅速,被广泛用于各个领域,大到各类高精度计算机,小到插排、手电筒,均离不开集成电路芯片的作用,集成电路芯片的制造过程也就显得尤为重要。在集成电路芯片的制造过程中,会在集成电路芯片的上形成大量的金属尖刺,工作人员对这些金属尖刺进行剪除,会形成大量的金属碎屑,但由于集成电路芯片表面的大量集成元件,使得这些金属碎屑会遗留在元件之间的缝隙内,且不易清洁,而清除这些金属碎屑需要工人手工操作,容易对芯片造成损坏,且降低了工作效率,故需要对这个过程进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,包括承物台,所述承物台下方设有支腿,所述承物台上方设有柜体,所述柜体顶部设有贯穿柜体内壁的第一安装槽,所述第一安装槽 ...
【技术保护点】
1.一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,包括承物台(1),其特征在于,所述承物台(1)下方设有支腿(24),所述承物台(1)上方设有柜体(2),所述柜体(2)顶部设有贯穿柜体(2)内壁的第一安装槽(3),所述第一安装槽(3)内设有第一电机(4),所述第一电机(4)输出轴末端穿出第一安装槽(3)并固定连接有主杆(5),所述主杆(5)上滑动套接有中空圆环(6),所述中空圆环(6)外套接有顶盖(7),所述顶盖(7)底部设有周向排列的一圈固定块(10),所述中空圆环(6)上设有固定中空圆环(6)的锁销(11),所述主杆(5)下端固定连接有底板(8),所述底板(8)上端面设有周向排 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,包括承物台(1),其特征在于,所述承物台(1)下方设有支腿(24),所述承物台(1)上方设有柜体(2),所述柜体(2)顶部设有贯穿柜体(2)内壁的第一安装槽(3),所述第一安装槽(3)内设有第一电机(4),所述第一电机(4)输出轴末端穿出第一安装槽(3)并固定连接有主杆(5),所述主杆(5)上滑动套接有中空圆环(6),所述中空圆环(6)外套接有顶盖(7),所述顶盖(7)底部设有周向排列的一圈固定块(10),所述中空圆环(6)上设有固定中空圆环(6)的锁销(11),所述主杆(5)下端固定连接有底板(8),所述底板(8)上端面设有周向排列的一圈放置槽(9),所述放置槽(9)贯穿底板(8)上下两侧,所述主杆(5)上设有竖直排列的两个锁孔(12),所述底板(8)的右侧设有固定在柜体(2)内顶壁的竖直杆(13),所述竖直杆(13)上固定连接有吹口朝底板(8)方向的吹风机(14),所述柜体(2)内设有位于底板(8)下方设有清理机构,所述柜体(2)侧面设有可转动的柜门(25)。
2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,所述清理机构包括设置在柜体(2)侧壁内的第二安装槽(15),所述第二安装槽(15)内设有第二电机(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:王忠,
申请(专利权)人:上海灏谷集成电路技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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