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本实用新型公开了一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，包括承物台，所述承物台下方设有支腿，所述承物台上方设有柜体，所述柜体顶部设有贯穿柜体内壁的第一安装槽，所述第一安装槽内设有第一电机，所述第一电机输出轴末端穿出第一安装槽并固定连接有主杆，...
该专利属于上海灏谷集成电路技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海灏谷集成电路技术有限公司授权不得商用。

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