前照式图像传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种前照式图像传感器，其包括：光路结构区域；所述光路结构通过若干金属层、接触孔层、多晶硅层限定；所述若干金属层、接触孔层、多晶硅层中的至少一层之间设置光阻挡或光反射结构，形成至少有接触孔层金属的环形光学通路。本实用新型专利技术的前照式图像传感器，通过光路结构中的若干金属层、接触孔层、多晶硅层的限定，进行光路结构开孔尺寸的组合设计，消除或降低光线发散导致的相邻感光单元的串扰，提高光路结构开孔尺寸的设计容忍度，实现更好的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
前照式图像传感器
本技术涉及图像传感器领域，尤其涉及前照式图像传感器。
技术介绍
图像传感器是将光信号转化为电信号的半导体器件，图像传感器具有光电转换元件，通常光电转换元件形成在衬底表面之下，逻辑电路形成在光电转换元件之上，光在穿过逻辑电路之后才到达光电转换元件，期间光经过了多层结构，导致光损失或光线串扰（crosstalk）至相邻的光电转换元件，影响每一个光电转换元件的光响应特性。目前的指纹识别方案有光学技术，硅技术（电容式/射频式），超声波技术等。其中，光学指纹识别技术已被广泛应用于便携式电子装置中。光学指纹识别技术采用光学取像设备，根据的是光在指纹谷/脊不同位置的反射光差异。来自屏幕的光线照到压在玻璃外表的指纹，反射光线透过玻璃和屏幕到达图像传感器光电转换元件并被转化为电学信号，从而构建指纹图像。反射光的强度和方向主要取决于指纹谷面/脊面的深度和宽度，而且还会受指纹上的油脂、水分等表面状态影响。图像传感器中的基本光电转换元件被设计为获取对应位置的反射光信息，因此需要尽可能地让对应位置的反射光进入光电转换元件，同时屏蔽非对应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种前照式图像传感器，其特征在于，所述前照式图像传感器包括：/n光路结构区域；/n所述光路结构通过若干金属层、接触孔层、多晶硅层限定；/n所述若干金属层、接触孔层、多晶硅层中的至少一层之间设置光阻挡或光反射结构，形成至少有接触孔层金属的环形光学通路。/n

【技术特征摘要】
1.一种前照式图像传感器，其特征在于，所述前照式图像传感器包括：
光路结构区域；
所述光路结构通过若干金属层、接触孔层、多晶硅层限定；
所述若干金属层、接触孔层、多晶硅层中的至少一层之间设置光阻挡或光反射结构，形成至少有接触孔层金属的环形光学通路。


2.根据权利要求1所述的前照式图像传感器，其特征在于，所述光阻挡或光反射结构的材质为：铝，铜，钛，氮化钛，钨，多...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑展，徐涛，
申请(专利权)人：格科微电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31