一种贴片式MEMS输电导线监测传感器制造技术

本实用新型专利技术属于电气一次主设备绝缘性能检测领域，具体涉及一种贴片式MEMS输电导线监测传感器；包括玻璃基底、焊盘、压敏电阻和硅薄膜，其特征在于：所述硅薄膜上设置有一个压敏电阻和两个焊盘，所述焊盘对称安装于压敏电阻的两侧；本装置实现了压敏电阻与外界恶劣环境的隔离，极大地提高了压敏电阻阻值在覆冰、油污、粉尘颗粒等恶劣环境下的稳定性，同时有效降低了传感器在脉动冲击和振动环境下的故障率。

【技术实现步骤摘要】
一种贴片式MEMS输电导线监测传感器
本技术属于电气一次主设备绝缘性能检测领域，具体涉及一种贴片式MEMS输电导线监测传感器。
技术介绍
高压输电导线一般采用钢芯铝绞线，在风载和导线自激振动时，尤其是在冬天导线覆冰时所产生的舞动，使导线承受交变载荷而有可能导致断丝断股，从而严重威胁着导线本身及其送变电设备和人身生命安全，因此系统地研究开发输电线路的监测诊断仪器，已成为近几年研究的一个热点。传统的传感器芯片通常是将压敏电阻制作在敏感膜片的上表面，电阻器直接与外界接触，其检测性能极易受到外界杂质的影响，无法保证其工作的稳定性。传统的压力传感器芯片在封装时因其焊盘尺寸小，一般都是通过压焊铝丝与外电路连接，但压焊铝丝直径极细，在振动或气压脉动的冲击下，铝丝容易脱落或断裂，导致传感器的失效，难以有效保证其工作的可靠性。
技术实现思路
针对输电导线断股散股的监测需求，基于半导体压阻效应原理，提出了一种贴片式MEMS输电导线监测传感器，压敏电阻由传统的暴露型改为隐藏型，无需进行复杂的封装处理，就能实现压敏电阻与外界恶劣环境的隔离，极大地提高了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种贴片式MEMS输电导线监测传感器,包括玻璃基底、焊盘、压敏电阻和硅薄膜，其特征在于：所述硅薄膜上设置有一个压敏电阻和两个焊盘，所述焊盘对称安装于压敏电阻的两侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种贴片式MEMS输电导线监测传感器,包括玻璃基底、焊盘、压敏电阻和硅薄膜，其特征在于：所述硅薄膜上设置有一个压敏电阻和两个焊盘，所述焊盘对称安装于压敏电阻的两侧。


2.根据权利要求1所述的一种贴片式MEMS输电导线监测传感器，其特征在于：所述硅薄膜形状选为方形。

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【专利技术属性】
技术研发人员：包艳艳，温定筠，刘康，张广东，郭陆，王津，彭鹏，高立超，
申请(专利权)人：国网甘肃省电力公司电力科学研究院，国家电网有限公司，国网甘肃省电力公司，
类型：新型
国别省市：甘肃;62