光学装置制造方法及图纸

一种用于图案化半导体器件的光学光刻系统及其使用方法。在实施例中，一种光学装置包括：光路；棱镜，设置在所述光路上；透镜，设置在所述光路上；以及可调谐反射镜，设置在所述光路上，所述可调谐反射镜包括：反射镜，在其正面具有凹面；后支架，贴附到所述反射镜的背面；以及多个微调螺钉，从所述后支架延伸到所述反射镜的所述背面。

【技术实现步骤摘要】
光学装置
本专利技术实施例涉及一种光学装置。
技术介绍
半导体器件被用于例如个人计算机、手机、数码相机、及其他电子设备等各种电子应用中。半导体器件通常是通过以下方式来制作：在半导体衬底上依序沉积绝缘层或介电层、导电层、以及半导体材料层，并利用光刻(lithography)对各种材料层进行图案化以在其上形成电路组件及元件。半导体行业通过不断缩小最小特征大小来不断地提高各种电子组件(例如，晶体管、二极管、电阻器、电容器等)的集成密度，以使得更多的组件能够被集成到给定区域中。然而，随着最小特征大小减小，出现了应被解决的另外的问题。
技术实现思路
根据本专利技术的实施例，一种光学装置，包括光路、棱镜、透镜以及可调谐反射镜。棱镜设置在所述光路上。透镜设置在所述光路上。可调谐反射镜设置在所述光路上。所述可调谐反射镜包括反射镜、后支架以及多个微调螺钉。反射镜在其正面具有凹面。后支架贴附到所述反射镜的背面。多个微调螺钉从所述后支架延伸到所述反射镜的所述背面。根据本专利技术的实施例，一种光学系统的使用方法，包括：利用能量源产生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学装置，包括：/n光路；/n棱镜，设置在所述光路上；/n透镜，设置在所述光路上；以及/n可调谐反射镜，设置在所述光路上，所述可调谐反射镜包括：/n反射镜，在其正面具有凹面；/n后支架，贴附到所述反射镜的背面；以及/n多个微调螺钉，从所述后支架延伸到所述反射镜的所述背面。/n

【技术特征摘要】
20190430 US 16/399,3321.一种光学装置，包括：
光路；
棱镜，设置在所述光路上；
透镜，设置在所述光路上；以及

【专利技术属性】
技术研发人员：郭宏瑞，李明潭，游珽崵，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71